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企業(yè)信息
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  • 入駐時間: 2016-09-29
  • 聯(lián)系人:彭厚芹
  • 電話:010-67868591
  • 聯(lián)系時,請說明易展網(wǎng)看到的
  • Email:phq@kitazaki.cn
產(chǎn)品目錄
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聯(lián)系人:彭厚芹

聯(lián)系電話:010-67868591
移動電話:13910926753  13910916953 15510102388
公司地址:北京市朝陽區(qū)住邦2000商務中心1號樓A座406B
Email:phq@kitazaki.cn
公司網(wǎng)址:http://www.kitazaki.com.cn



產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:BROOKS 布魯克斯 蒸汽輸送模塊

  • 產(chǎn)品型號:VDM300
  • 產(chǎn)品廠商:BROOKS 布魯克斯
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
在超潔凈去離子蒸汽供應中實現(xiàn)*高的流量精度
詳情介紹:

VDM300蒸汽輸送模塊


長處

  • 流量范圍:3 slpm(DIW 蒸汽)
  • 直接水蒸氣測量,具有出色的流量精度
  • 直接連接到廠內供水裝置
  • 能夠在*低溫度下運行(不會過熱)
  • 優(yōu)化的沖洗和排水設計
  • EtherCAT數(shù)字通信
  • Brooks 專家支持工具 (BEST) 圖形界面


優(yōu)點
  • 成熟可靠的熱式質量流量測量和控制技術
  • 兼容各種供水壓力
  • 增強的防腐處理
  • 清潔制造
  • 使用模擬或數(shù)字通信的工具接口
  • 用于增強數(shù)據(jù)收集或故障排除的直接接口

用途
  • 硅半導體的后蝕刻工藝
  • 硅半導體金屬帶材工藝
  • 低氣壓環(huán)境下的超高潔凈度加濕
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