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第9年

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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：BROOKS 布魯克斯高溫質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號：5850EMH
產(chǎn)品廠商：BROOKS 布魯克斯
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

久經(jīng)考驗的長期穩(wěn)定性。超高清潔性能，適用于高溫應用

詳情介紹：

5850EMH 系列高溫質(zhì)量流量控制器

長處

高泄漏完整性（10-11 Pa.m3/s （10-10 atm.cc/s） He 或更低）
寬流量范圍（0.003~100 slpm）
高純度VAR 316L不銹鋼
防止顆粒的形成
氦氣泄漏止回口
常閉閥（提供常開閥選項）
電動閥門超控
低指令流截止
符合TTl標準的“閥門關閉”功能

優(yōu)點

穩(wěn)定且經(jīng)過驗證的產(chǎn)品平臺
高達 100 lpm 的高流量性能（相當于 N2）
金屬流路可提高氣體清潔度并減少泄漏
專用模擬輸入和輸出，便于安裝和維修

用

光纖制造 - MCVD、OVD、AVD
流量蒸汽流量控制

規(guī)格

	5850EMH	5851EMH
流量范圍（滿量程容量）	3 sccm - 30 slm （N2 等同）	10 - 100 slm （N2 等同）
精度	±1%FS	±1%FS
再現(xiàn)性	SP的0.25%< ±	< ±0.25% SP的
響應時間	3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）	3 秒至 SP 的 2% 以內(nèi)（根據(jù) SEMI E17-91）
模擬通信	0-5 伏直流電	0-5 伏直流電