企業(yè)信息

第9年

入駐時間： 2016-09-29
聯(lián)系人：彭厚芹
電話：010-67868591
聯(lián)系時，請說明易展網(wǎng)看到的
Email：phq@kitazaki.cn

產(chǎn)品目錄

聯(lián)系我們

聯(lián)系人：彭厚芹

聯(lián)系電話：010-67868591
移動電話：13910926753 13910916953 15510102388
公司地址：北京市朝陽區(qū)住邦2000商務中心1號樓A座406B
Email：phq@kitazaki.cn
公司網(wǎng)址：http://www.kitazaki.com.cn

產(chǎn)品詳情

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> BROOKS 布魯克斯>

查看大圖

產(chǎn)品名稱：BROOKS 布魯克斯質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號：GF126
產(chǎn)品廠商：BROOKS 布魯克斯
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

你添加了1件商品查看購物車

簡單介紹：

速度增強的 EtherCAT?

詳情介紹：

*快、***的質(zhì)量流量控制器

半導體工藝的*佳性能

具有嵌入式實時診斷功能的 EtherCAT® 數(shù)據(jù)采集
超穩(wěn)定的流量傳感器（每年≤設定值的 0.15%）可提高低設定值的精度并減少維護要求
改進了閥門關閉（料倉范圍的 ≤0.15%）并減少了閥門泄漏，從而減少了**晶圓效應
新增強的壓力波動容限（PTI）可降低串擾靈敏度，并確保一致的質(zhì)量流量輸送

特征

長期零點穩(wěn)定性，±小于0.15%F.S./年
響應時間：300 ms 至 1 秒以內(nèi)
滿量程流量高達 300 slpm
所有氣體接觸部件均為金屬：*高 0.125 μm 或 0.25 μm Ra 表面光潔度可選
高度耐腐蝕的哈氏合金 T-Rise 傳感器可提高高溫下的溫度可重復性
MultiFloTM 氣體，范圍可變性：可以在一個設備中配置數(shù)千種不同的氣體和流速，而無需從氣體管路中移除 MFC，也不會影響精度
易于使用的用戶顯示屏和獨立的診斷/服務端口有助于設備安裝、監(jiān)控和故障排除
GF120 **輸送系統(tǒng) （SDS®）是 Brooks 技術*高的低壓降質(zhì)量流量控制器，用于植入和蝕刻工藝中使用的亞大氣壓 SDS 氣體輸送。

優(yōu)勢

非常好的性能
- 由于反應時間短，提高了應用效率
靈活的連接配置
- 幾乎無限的網(wǎng)絡連接
簡單而堅固
- 配置、診斷和維護
可負擔性
- 標準以太網(wǎng)端口

用途

半導體蝕刻設備
CVD、MOCVD、PECVD、ALD設備
PVD設備
外延制程設備

規(guī)格

	GF100	GF101	GF120	GF120	GF120XSD	GF120XSL	GF121	GF125	GF126
差異化優(yōu)勢	高純度	高純度高流速	超高純度超快響應時間	*高流量范圍久經(jīng)考驗的可靠技術	SDS氣體輸送	SDS氣體輸送	超高純度高流速	超高純度超快響應壓力瞬態(tài)不敏感	高流速
流量范圍（滿量程容量）	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	3 SCCM - 55 SLM	>25 SCCM - 1 SLM	4 - 25 SCCM	55 SLM - 300 SLM	3 SCCM - 55 SLM	55 SLM - 300 SLM
表面光潔度	10μ 英寸 Ra	10μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	4μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra	5μ 英寸 Ra
精度	±1% 標準> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標準> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% 標準> 20-100% ±0.20% F.S. 2-20%	±1% 標準價 > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
再現(xiàn)性	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股	< ±0.15% 標準股
響應時間	常閉 <1 秒	常閉 <1 秒	常閉 700 毫秒	常閉 700 毫秒	常閉 <3 秒	常閉 <3 秒	常閉 <1 秒	常閉 300 毫秒 - <700 毫秒	常閉 <1 秒
響應時間 - 否	常開 <1.5 秒	常開 —	常開 <1.5 秒	常開 <1.5 秒	常開 —	常開 —	常開 —	常開 <1.5 秒	常開 —
多氣體多量程	MultiFlo? 標準版	MultiFlo? 標準版	MultiFlo? 標準版	MultiFlo? 標準版	—	—	MultiFlo? 標準版	MultiFlo? 標準版	MultiFlo? 標準版
供氣壓力波動容限/背壓波動容限（穩(wěn)定）	—	—	—	—	—	—	—	±5% S.P. 高達 5 psi/sec 上游壓力機。穗	能夠測量入口壓力
診斷能力	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈：MFC 運行狀況和網(wǎng)絡狀態(tài) 警報：控制閥輸出和網(wǎng)絡中斷	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報	狀態(tài)指示燈和警報
數(shù)字通信	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	RS485 L協(xié)議設備網(wǎng)絡?	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT	EtherCAT以太網(wǎng)CAT