SAKAGUCHI 坂口多功能型激光平面瞬間加熱裝置ExLASER
用途例 MBE裝置的基板加熱 芯片退火(SiC、GaAS等) 可以進(jìn)行多層結(jié)構(gòu)設(shè)備的表層退火(適用于微細(xì)化設(shè)備)