愛發(fā)科ULVAC一段式隔膜型干泵DA-60S  聯(lián)系人  衛(wèi)經理

愛發(fā)科ULVAC一段式隔膜型干泵DA-60S  聯(lián)系人  衛(wèi)經理

愛發(fā)科ULVAC一段式隔膜型干泵DA-60S  聯(lián)系人  衛(wèi)經理

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計

• 價格低廉，銷售量多的標準型干式真空泵。
• 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
• 豐富的產品陣容可滿足不同的應用需求。
• 單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。
• 具有鎖定保護和過流保護功能等**設計。
• 大氣壓下可以運作。

• 真空吸盤，晶圓和**處理設備。
  真空鑷子，醫(yī)療器械。
  印刷設備。
  自動包裝機。
  光學器具。
  半導體行業(yè)。
  注塑機。

• 	Unit	50Hz	60Hz
  有效排氣速度	L/min	60	72
  極限壓力※1	Pa (kPa)	21.3×103 （-80.0）
  使用電動機		單相, 100V, 200W, 4P, 分相啟動
  全負荷電流	A	5.6	5.0
  重量	kg	11.0
  吸/排出孔（內螺紋尺寸）	mm	O.D.Φ9×I.D.Φ5 (Rc 1/4)
  使用環(huán)境溫度范圍	℃	7～40
  *大尺寸	mm	212(W)×278(L)×224.5(H)