■吸著?エッジクランプ?おとしこみ各方式特殊対応実績豊富。 ■ ウエハご希望搬送枚數(shù)を一括搬送できるユニットを設(shè)計製作いたします。 事例 ?5枚一括搬送ユニット ?25枚一括搬送ユニット
クリーン梱包はしておりません。
型 式 ＷＨＢ－□□□ＡＳ‐ □□ 搬送ワーク ウエハ ワークサイズ φ300 //φ450 搬送方式 3 種類（ おとしこみ?吸著?エッジクランプ） 搬送枚數(shù) 2 枚～ 25枚 駆動方式 閉方向 ※詳細(xì)につきましては特殊仕様のためお問い合わせください 開方向 動作ストローク 把持力 クリーン度 フォーク材質(zhì) ＣＥＲＰ 駒?仮受け座?パット ＰＥＥＫ 本體重量 約19 ㎏（φ300 の25枚搬送ユニット參考） オプション 開閉確認(rèn)センサー
型 式
ＷＨＢ－□□□ＡＳ‐ □□
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ300 //φ450
搬送方式
3 種類（ おとしこみ?吸著?エッジクランプ）
搬送枚數(shù)
2 枚～ 25枚
駆動方式
閉方向
※詳細(xì)につきましては特殊仕様のためお問い合わせください
開方向
動作ストローク
把持力
クリーン度
フォーク材質(zhì)
ＣＥＲＰ
駒?仮受け座?パット
ＰＥＥＫ
本體重量
約19 ㎏（φ300 の25枚搬送ユニット參考）
オプション
開閉確認(rèn)センサー