■固定搬送 クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢(shì)に対応可能です。裝置の高速化に伴う芯ズレを防止します。 ■ ウエハ表裏に対して非接觸 エッジのみに接觸し、クランプ?吸著搬送に伴うパッド痕の心配がありません。 ■ クリーン度クラス1対応 ■WHA シリーズ サイドアームのみの片側(cè)駆動(dòng)式エッジクランプ
型式
ＷＨＡ-200ＡＳ
ＷＨＡ-300ＡＳ
ＷＨＡ-450ＡＳ
搬送ワーク
ウエハ
ワークサイズ
φ200
φ300
φ450
搬送方式
エッジクランプ
搬送枚數(shù)
１枚
駆動(dòng)方式
閉方向
スプリング（クランプ方式）
開(kāi)方向
バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負(fù)圧シリンダ採(cǎi)用）
動(dòng)作ストローク
10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜）
把持力
２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ
約７N
クリーン度
FED 規(guī)格 クラス１ （吸引要）
フォーク材質(zhì)
ＣＦＲＰ
駒?仮受け座?パット
ＰＥＥＫ
本體重量
約0.4Kg
約0.5Kg
約1.7Kg
オプション
開(kāi)閉確認(rèn)センサー