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技術文章

MITUTOYO三豐形狀測量系統(tǒng)UVS2系列

MITUTOYO三豐形狀測量系統(tǒng)UVS2系列

MITUTOYO三豐形狀測量系統(tǒng)UVS2系列

MITUTOYO三豐形狀測量系統(tǒng)UVS2系列

*小徑15μmのスタイラスにより、微細領域の接觸測定が可能です。
主な特長
*小徑15μmのスタイラスにより、微細領域の接觸測定が可能です。
*小1μN（UMAP103）の超低測定力により、変形しやすいワークでも測定が可能です。
スタイラス徑の異なるUMAPを*大3種類まで組み合わせ可能。脫著交換はお客様自身で行えます。
UMAPでの接觸測定と畫像方式による非接觸測定を1臺で実現(xiàn)。目視困難な部分でも、畫像モードで位置決めを行い、その後UMAPによる狙いこみ測定が可能です。
高NAと低ディストーションの高性能対物レンズと新光學系の採用により、高いエッジ検出能力を発揮します。
基準となる測長系には、線膨張係數(shù)（0±0.02）×10??Kの低膨張ガラススケールを採用し、溫度変化によるスケールの伸縮を*小限に抑えています。
仕様
符號 UVS2-H302P1L-D UVS2-U404P1N-D
測定範囲(XxYxZ)(mm)
300×200×200
400×400×200
*小表示量(μm)
0.02
0.01
測定精度(E1XY軸)(um)
（0.8+2L/1000）
（0.25＋L/1000）
測定精度(E1Z軸)(um)
（1.5+2L/1000）
（1.5+2L/1000）
測定精度(E2XY平面)(um)
（1.4+3L/1000）
（0.5＋2L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察裝置
プログラム制御パワーターレット 1x,2x,6x
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
白色LED
ハロゲン
照明 透過照明
白色LED
ハロゲン
照明 リング照明
白色LED
ハロゲン
使用空気圧(MPa)
0.4
0.4
精度保証 溫度(℃)
18～23
19?23
精度保証 溫度変化(℃/H)
0.5/1,1/24
測定物 *大積載質量(kg)
15
本體質量(設置臺含む)(kg)
370
2035
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
本體外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1735×1200×1910(設置臺含む)
UMAP畫像 共通測定範囲(XxYxZ)(mm)
285×400×175
ULTRA 測定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時)
（1.0＋2L/1000）
溫度補正機能
自動溫度補正
供給空気流量(L/min)(ANR)
300
UVS2-H302P1L-D UVS2-U404P1N-D