SIMCO-ION思美高靜電離子風(fēng)棒5635兼容棒型離子發(fā)生器
SIMCO-ION思美高靜電離子風(fēng)棒5635兼容棒型離子發(fā)生器
SIMCO-ION思美高靜電離子風(fēng)棒5635兼容棒型離子發(fā)生器
製品情報(bào)
モデル5635 エアロバーMPイオナイザーは、先端半導(dǎo)體製造工程等100nm以下の微小パーティクル管理が必要な箇所の除電用途に開発された超低パーティクル対応製品です。
特長(zhǎng)
■ワールドワイドにて無類の採(cǎi)用実績(jī)を有する?yún)g結(jié)晶シリコン電極は超低パーティクル特性と伴に電極材料によるメタル汚染リスクを回避
■獨(dú)自のMP(パルス変調(diào))方式により、イオンを効率よくターゲットに運(yùn)ぶ高い除電性能
■100mm距離にても使用可能な小電位スイング特性及びバー長(zhǎng)に渡り偏りの少ないイオンバランス
■インテリジェント制御回路によりイオン発生狀態(tài)とイオンバランスを常時(shí)自動(dòng)管理
■1/4回転で脫著可能な交換式電極はメンテナンス工數(shù)の削減に寄與
■電位スイングが非常に小さなMP方式の特徴により、セットアップが簡(jiǎn)便化また、電位スイングの小ささが長(zhǎng)期イオンバランスを管理基準(zhǔn)內(nèi)に保つことにも有効に作用
■半導(dǎo)體前工程用EFEMに即した長(zhǎng)さのバーを設(shè)定
■24V DC駆動(dòng)コントローラ內(nèi)臓のコンパクト設(shè)計(jì)
■ワールドワイドにて高いレベルのサポートネットワークが利用可能
仕様
Model 5635 AeroBar MP
入力電圧 24V DC +/-10%
出力電圧 *大約13.5kv p-p 調(diào)整可能
設(shè)置距離 100mm～1000mm(エアパージ無し)
イオン発生方式 コロナ放電方式
MP (パルス変調(diào)）方式 変調(diào)周波數(shù) 1 ～ 33 Hz
イオンバランス 自動(dòng)バランス調(diào)整方式
<+/-10V內(nèi) バー直下 位置による差異 <+/-10v
(600 mm距離）
電極 単結(jié)晶シリコン電極 交換可能
パージガス クリーンドライエア或いはN2
*大パージ圧 310Kpa
オゾン量 <0.05ppm(24時(shí)間積算値)
信號(hào)出力 アラームIO オープンコレクタ出力
寸法 高さ78mm x 奧行34mm x 長(zhǎng)さは下記
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750
/1900/2050/2200/2350mm
外裝 ABS樹脂
拡張ISO Class1,10nmとは？
拡張ISO Class1,10nmについて 微小パーティクル管理に対応するためION Systemsにて獨(dú)自に定めたクリーン度の定義です。ISO14644-1は*小粒徑100nmにて定義されています。拡張ISO Class1,10nmとはISO14644-1と同じ許容パーティクル數(shù)の算出式を用いており、その許容パーティクル數(shù)は10nm以上の粒徑にて1200pc/m3(34 pc/ft3)となります
