- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：全自動氦質(zhì)譜檢漏儀?
- 產(chǎn)品型號：JL-142W(D)
- 產(chǎn)品展商：德國普發(fā)
- 發(fā)布時間：2020-12-22
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
全自動氦質(zhì)譜檢漏儀?設(shè)備內(nèi)
芯的制造借鑒國外先進(jìn)技術(shù)，整機(jī)設(shè)
置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，
反應(yīng)快，開機(jī)時間短等特點(diǎn)。檢漏效
果達(dá)到國外先進(jìn)水平。
產(chǎn)品描述
全自動氦質(zhì)譜檢漏儀
JL-142W(D)型是一款液晶觸摸
彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。主
要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。
主要技術(shù)指標(biāo)
1、真空模式*小可檢漏率：5×10 -13Pa?m3 /s（5×10 -12mbal/s）
真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa?m3 /s
2、吸**式*小可檢漏率：5×10 -9Pa?m3 /s（5×10 -8mbal/s）
吸**式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa?m3 /s
3、啟動時間：≤3min
4、響應(yīng)時間：≤0.5s
5、檢漏口的*高壓力：1500Pa
6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A
7、工作環(huán)境：5-35℃
9、相對濕度：≤80%
9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）
10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg
主要配置
1、德國普發(fā)檢漏儀專用分子泵（原裝進(jìn)口）
2、W 為油式機(jī)械泵，D 為干式機(jī)械泵
3、定制檢漏儀專用電磁閥
4、專用閥體
5、原裝晶圓放大器
6、采用質(zhì)譜專用模塊
7、液晶觸摸彩屏
8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動調(diào)氦峰，自動切換
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