企業(yè)信息
第10年
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
氣體用超小型流量傳感器 RAPIFLOW (R)是壓縮空氣、氮氣用超小型流量傳感器。輕量、高速響應(yīng)，zui適合電子部件等的吸附確認(rèn)。
適用行業(yè)：半導(dǎo)體制造工序（后工序）
詳情介紹：
【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實現(xiàn)了超小型化。
實現(xiàn)了比以往體積減少52%，輕量4G、zui薄8mm。
產(chǎn)品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。
【非線性特性】（FSM-X系列）
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領(lǐng)域的分辨率。
【高速響應(yīng)】（FSM-V?FSM-X系列）
實現(xiàn)了以往無法實現(xiàn)的5ms的高速響應(yīng)設(shè)計
【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進行雙方向測量，zui適合吸附確認(rèn)用途。
