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電子工業(yè),特別是迅速發(fā)展的亞微米工藝對(duì)生產(chǎn)場(chǎng)所空氣潔凈度要求特別高。在對(duì)潔凈度提出更高要求方面,電子工業(yè)是促進(jìn)前進(jìn)的動(dòng)力。集成電路光刻工藝的尺寸是推動(dòng)潔凈室要求向前發(fā)展的決定性因素。技術(shù)越進(jìn)步,尺寸就越小。
如果落在集成電路上的粒子大于小光刻尺寸1%~2%,就會(huì)使集成電路成為廢品。金屬粒子、離子、**等都是產(chǎn)生廢品的元兇??諝鉂崈舳鹊暮脡闹苯佑绊懠呻娐飞a(chǎn)的成品率。同時(shí),對(duì)微電子產(chǎn)品的功能要求越來越高,投資規(guī)模越來越大,就對(duì)質(zhì)量水平的要求越來越嚴(yán)格。電子工業(yè)已成為世界上巨大的工業(yè)部門,預(yù)計(jì)在2015年,小的光刻尺寸可到0.05微米。微電路存貯量可達(dá)64千兆比特。
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