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※無(wú)塵室定義

無(wú)塵室是一個(gè)為了對(duì)空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無(wú)塵室也會(huì)對(duì)溫溼度、氣流運(yùn)動(dòng)模式、與震動(dòng)噪音等環(huán)境因素做控制。

無(wú)塵室依等級(jí)的不同，對(duì)一定空間內(nèi)的微塵粒子大容許量亦有一定規(guī)範(fàn)，在國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中常用的規(guī)範(fàn)有
Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級(jí)定義。

※Fed-Std-209E潔淨(jìng)度定義

※ISO-14644潔淨(jìng)度定義

ISO的等級(jí)劃分，首先定義了微粒的粒徑是從 0.1mm到5mm，在此範(fàn)圍之外就不列入等級(jí)表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對(duì)範(fàn)圍外粒子。ISO 等級(jí)本身歸類為 ISO Class 1 到ISO Class 9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數(shù)，數(shù)目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數(shù)。

比較以上兩表我們可看出：

1. 209E的公制和英制兩套標(biāo)準(zhǔn)，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆。
2. 在兩表中0.5μm幾乎出現(xiàn)在每一個(gè)等級(jí)定義中，表示粒徑0.5μm的粒子非常具有代表性。
3. 在潔淨(jìng)度的分類上，不管是在高潔淨(jìng)度，或是低潔淨(jìng)度，ISO-14644的範(fàn)圍比209E都來(lái)的廣，因此具有未來(lái)性。