日本精工研發(fā)出真空清潔N系列薄壁軸承。日本精工研制開發(fā)出“真空清潔N系列薄壁軸承”，應用于半導體制造裝置的真空搬運機器人。N系列薄壁軸承的研制開發(fā)，進一步擴大了特殊應用環(huán)境軸承產品系列。
該產品用于真空搬送機器人的軀體以及手臂關節(jié)部位，其特點一是通過改良潤滑劑（V－DFO）實現了揮發(fā)氣體比封入高真空潤滑油的商品低三分之一以下、持久性比氟化乙烯樹脂被膜商品提高20倍；二是采用低排氣量、耐高溫樹脂保持架，消除了以前由于金屬保持架磨損所產生的潤滑劑的劣化；三是采用耐久性高的氮化硅滾珠，提高了薄膜潤滑下的耐久性；四是內、外輪采用NSK獨自開發(fā)的不銹鋼，和以前相比具有10倍的耐腐蝕性。
日本精工預定首先從4點接觸球軸承NBX型（2005年3月末）系列化生產該產品，然后是角接觸球軸承NBA型。生產規(guī)格為內徑25mm～210mm，滾溝尺寸4、6、7mm三種。