日機(jī)裝展出微型泵：可同時供給液體氣體。日機(jī)裝開發(fā)成功了不僅可以供給液體還可以供給氣體的微型泵，并在“第16屆微機(jī)械展”上展出。流量為1μl/分～50μl/分，可通過驅(qū)動頻率控制流量。面向醫(yī)療用的分析裝置。驅(qū)動電壓為120V，耗電量為10μW。外形尺寸為22mm×16.5mm×4mm。目前已開始樣品供應(yīng)。
此次開發(fā)的微型泵的工作原理是：使用壓電元件向上驅(qū)動隔膜來吸入液體或氣體，反之通過向下驅(qū)動隔膜來排出液體或氣體。隔膜為單晶硅材料，周邊覆蓋玻璃底板，在隔膜上方設(shè)計有壓電元件。該公司使用了MEMS技術(shù)來加工微型泵。此次通過加大向下驅(qū)動隔膜時施加的壓力，實(shí)現(xiàn)了氣體的排出，壓力*大為30kPa。該公司原來的產(chǎn)品中，這一壓力較小，即便給氣體加壓，氣體也不會因壓縮而排出。此次通過細(xì)化液體和氣體的流路，提高了隔膜驅(qū)動所產(chǎn)生的壓力。  
此外，此次的微型泵可以兩個聯(lián)動使用。這樣，通過隔膜驅(qū)動的聯(lián)動，就可以減小液體或氣體流量的變化即脈流現(xiàn)象。