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如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
產(chǎn)品名稱：片狀薄層微小電阻測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)：SHSZ82
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

SHSZ82四探針測(cè)試儀測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，擴(kuò)散層薄層電阻。SHSZ82四探針測(cè)試儀換上特制的四探針測(cè)試夾具，還可對(duì)金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測(cè)量.片狀薄層微電阻測(cè)試儀.數(shù)字式四探針測(cè)試儀.數(shù)字式四探針測(cè)試儀.片狀薄層微電阻測(cè)試儀。SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀。SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀。SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀。SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀

產(chǎn)品描述

SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀

一、概述

SHSZ82型數(shù)字式四探針測(cè)試儀（片狀薄層微小電阻測(cè)試儀）是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀（數(shù)字式四探針測(cè)試儀）可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀（數(shù)字式四探針測(cè)試儀）換上特制的四探針測(cè)試夾具，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進(jìn)行測(cè)量。

SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀（數(shù)字式四探針測(cè)試儀）由主機(jī)、測(cè)試架等部分組成，測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。主機(jī)主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度恒流源組成。測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng)。

SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀（數(shù)字式四探針測(cè)試儀）具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測(cè)量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

SHSZ82片狀薄層微小電阻測(cè)試儀（數(shù)字式四探針測(cè)試儀）適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測(cè)試。

SHSZ82片狀薄層微電阻測(cè)試儀工作條件為：

溫度： 23℃±2℃

相對(duì)濕度： 60%～70%

工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

二、技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍

電阻率： 10^-4～10³ Ω-cm

方塊電阻： 10^-3～10⁴ Ω/□

電阻： 10^-6～10⁵ Ω

2. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸

直徑： Φ15～100mm

長(zhǎng)（或高）度： ≤400mm

3. 測(cè)量方位

軸向、徑向均可

4. 數(shù)字電壓表：

⑴量程：0.2mV,2mV,20mV,200mV,2V

⑵誤差：0.2mV量程：±0.5%讀數(shù)±8字

其它量程：±0.5%讀數(shù)±2字

⑶輸入電阻：0.2mV和2mV量程：＞10⁶Ω

其它量程：＞10⁸Ω

⑷*大分辨力：0.1μV

⑸顯示：3位半數(shù)字顯示

極性、過(guò)載自動(dòng)顯示

小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示

5. 恒流源

⑴電流輸出：直流電流0～100mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。

⑵量程：10μA，100μA，1mA，10mA，100mA

⑶誤差：±0.5%讀數(shù)±2字

6. 四探針測(cè)試探頭：

⑴探針間距： 1mm

⑵探針機(jī)械游移率： ±1.0%

⑶探針：碳化鎢，Φ0.5mm

⑷壓力： 0～2kg可調(diào),*大壓力約2kg

7. 電源：

220V±10%： 50Hz

功耗： <35W

8. 外形尺寸：

主機(jī) 400mm（長(zhǎng)）×440 mm（寬）×120mm（高）

三、工作原理

1. 測(cè)試原理：直流四探針?lè)y(cè)試原理簡(jiǎn)介如下：

⑴體電阻率測(cè)量：

當(dāng)1、2、3、4四根金屬探針排成一直線時(shí)，并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí)，在1、4兩根探針間通過(guò)電流I，則在2、3探針間產(chǎn)生電位差V。

材料電阻率 ρ= C （Ω-cm）（3-1）

（a）塊狀或棒狀樣品體電阻率測(cè)量：

由于塊狀或棒狀樣品外形尺寸遠(yuǎn)大于探針間距，符合半無(wú)窮大的邊界條件，電阻率值可以直接由（3—1）式求出。

（b）簿片電阻率測(cè)量

薄片樣品因?yàn)槠浜穸扰c探針間距相近，不符合半無(wú)窮大邊界條件，測(cè)量時(shí)要附加樣品的厚度、形狀和測(cè)量位置的修正系數(shù)。

⑵ 擴(kuò)散層的方塊電阻測(cè)量

2. 電氣原理

SHSZ82型數(shù)字式四探針測(cè)試儀儀器主體部分由高靈敏度直流數(shù)字電壓表（由調(diào)制式高靈敏直流電壓放大器、雙積分A/D變換器、計(jì)數(shù)器、顯示器組成）、恒流源、電源、DC-DC變換器組成。為了擴(kuò)大儀器功能及方便使用，還設(shè)立了單位、小數(shù)點(diǎn)自動(dòng)顯示電路、電流調(diào)節(jié)電路、自校電路和調(diào)零電路。

儀器+12V電源經(jīng)過(guò)DC-DC變換器，由恒流源電路產(chǎn)生一個(gè)高穩(wěn)定度恒定直流電流，其量程分別為10μA、100μA、1mA、10mA、100 mA五檔。在各檔電流量程中，輸出電流值均連續(xù)可調(diào)。此恒定電流輸送到1、4探針上，在樣品上產(chǎn)生一個(gè)直流電位差，被2、3探針檢出，由高靈敏度、高輸入阻抗的直流電壓放大器中將直流電壓信號(hào)放大（放大量程有0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V五檔），再經(jīng)過(guò)雙積分A/D變換器將模擬量變換為數(shù)字量，經(jīng)由計(jì)數(shù)器、單位、小數(shù)點(diǎn)自動(dòng)轉(zhuǎn)換電路顯示出測(cè)量結(jié)果。

為了克服測(cè)試中探針與半導(dǎo)體材料樣品接觸時(shí)產(chǎn)生的接觸電勢(shì)和整流效應(yīng)的影響，本儀器設(shè)立了“粗調(diào)”、“細(xì)調(diào)”調(diào)零電路，以產(chǎn)生一個(gè)恒定的電勢(shì)來(lái)抵消上述附加電勢(shì)的影響。

儀器的自校電路中備有精度為0.02%、阻值為19.96Ω的標(biāo)準(zhǔn)電阻，作為自校電路的基準(zhǔn)。通過(guò)自校電路可以方便地對(duì)數(shù)字電壓表和恒流源的精度進(jìn)行校準(zhǔn)。

四、結(jié)構(gòu)特征

儀器為臺(tái)式結(jié)構(gòu)，分為主機(jī)、測(cè)試架兩大部分，可以根據(jù)測(cè)試需要安放在一般工作臺(tái)或者專用工作臺(tái)上。測(cè)試架由探頭及壓力傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、樣品臺(tái)構(gòu)成。探頭經(jīng)過(guò)精密加工，探針為耐磨材料碳化鎢所制成，配用寶石導(dǎo)套，使測(cè)量誤差大為減少，且壽命長(zhǎng)。探頭內(nèi)有彈簧壓力裝置，測(cè)試架內(nèi)還有高度粗調(diào)、細(xì)調(diào)及壓力自鎖裝置。

主機(jī)為儀器主要電氣部分所在，在其面板上有數(shù)字、小數(shù)點(diǎn)、單位顯示及全部操作旋鈕、開(kāi)關(guān)等。如

五、使用方法

SHSZ82型數(shù)字式四探計(jì)測(cè)試儀能夠測(cè)量普通電阻器的電阻（V/I之比，不乘系數(shù)）、體電阻率、薄片電阻率、擴(kuò)散層的方塊電阻，（后三項(xiàng)需乘上不同的系數(shù)）。

1. 操作概述：

⑴測(cè)試準(zhǔn)備：將220V電源插頭插入電源插座，電源開(kāi)關(guān)置于斷開(kāi)位置，工作選擇開(kāi)關(guān)置于“短路”位置，電流開(kāi)關(guān)處于彈出切斷位置。

將測(cè)試架的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來(lái)，松開(kāi)測(cè)試架立柱處的高度調(diào)節(jié)手輪，將探頭調(diào)到適當(dāng)位置和高度，測(cè)試樣品應(yīng)進(jìn)行噴砂和清潔處理，放在樣品架上，使探針能與其表面良好接觸，并保持一定壓力；調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度使之達(dá)到要求的測(cè)試條件。

⑵測(cè)量：

將電源開(kāi)關(guān)置于開(kāi)啟位置，數(shù)字顯示亮，儀器通電預(yù)熱1小時(shí)。

極性開(kāi)關(guān)撥至上方，工作狀態(tài)選擇開(kāi)關(guān)置于“測(cè)量”，撥動(dòng)電流量程開(kāi)關(guān)和電壓量程開(kāi)關(guān)，置于樣品測(cè)量所適合的電流、電壓量程范圍，電流調(diào)節(jié)電位器調(diào)到適合的電流值（方法見(jiàn)“注意事項(xiàng)”），調(diào)節(jié)電壓表的粗調(diào)和細(xì)調(diào)調(diào)零，使數(shù)字顯示為“0000”，按下電流開(kāi)關(guān)輸出恒定電流，即可由數(shù)字顯示板和單位顯示燈直接讀出測(cè)量值。如果數(shù)字出現(xiàn)閃爍，則表示測(cè)量值已超過(guò)此電壓量程，應(yīng)將電壓量程開(kāi)關(guān)撥到更上等；讀數(shù)后切斷電流開(kāi)關(guān)，數(shù)字顯示將恢復(fù)到零位。在儀表處于高靈敏電壓檔時(shí)要經(jīng)常檢查零位。再將極性開(kāi)關(guān)撥至下方（負(fù)極性），按下電流開(kāi)關(guān)，從數(shù)字顯示板和單位顯示燈可以讀出負(fù)極性的測(cè)量值；將兩次測(cè)量獲得的電阻率值取平均，即為樣品在該處的電阻率值。

測(cè)量電阻、方塊電阻時(shí)，可以按表1所示的電壓、電流量程進(jìn)行選擇。

電流\電阻\電壓	0.2mV	2mV	20mV	200mV	2V
100Ma	2mΩ	20mΩ	200mΩ	2Ω	20Ω
10mA	20mΩ	200mΩ	2Ω	20Ω	200Ω
1mA	200mΩ	2Ω	20Ω	200Ω	2kΩ
100μA	2Ω	20Ω	200Ω	2kΩ	20kΩ
10μA	20Ω	200Ω	2kΩ	20kΩ	200kΩ

表1 電阻及薄層電阻測(cè)量時(shí)電壓、電流量程選擇

測(cè)量電阻率時(shí)，預(yù)估的樣品電阻率范圍和應(yīng)選擇的電流范圍對(duì)應(yīng)關(guān)系如表2所示。

電阻率范圍（Ω-cm）	電流檔
<0.012	100mA
0.008-0.6	10mA
0.4-60	1MA
40-1200	100μA
>800	10μA

表2 測(cè)量電阻率所要求的電流值

根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及儀器性能，從保證測(cè)試精度考慮，在電阻率測(cè)試時(shí)，推薦用戶采用以下電流、電壓量程組合，見(jiàn)表3所示。

電流\電阻率\電壓	0.2mV	2mV	20mV	200mV	2V
100mA	10^-4～10^-3	10^-3
10mA		10^-3～10^-2	10^-1
1mA		10^-1	1～20	10～50	10²～10³
100μA				200～500	10³～10⁴
10μA					10⁵

表3 電阻率測(cè)量時(shí)推薦的電流電壓量程選擇

2. 注意事項(xiàng)：

⑴測(cè)量電流值的調(diào)節(jié)，工作選擇開(kāi)關(guān)置于“I調(diào)節(jié)”位置，電流量程開(kāi)關(guān)與電壓量程開(kāi)關(guān)必須放在表4所列的任一組對(duì)應(yīng)的量程上。

電壓量程	2V	200mV	20mV	2mV	0.2mV
電流量程	100mA	10mA	1mA	100μA	10μA

表4 電流調(diào)節(jié)和自校時(shí)必須對(duì)應(yīng)的電流電壓量程

按下電流開(kāi)關(guān)，調(diào)節(jié)電流電位器，可以使電流輸出在0～10.00范圍內(nèi)，調(diào)到數(shù)字顯示出測(cè)量所需要的電流值（例6.28，4.53等）。當(dāng)電流調(diào)節(jié)電位器的指針盤上的刻度旋轉(zhuǎn)到100時(shí)數(shù)字顯示為10.00，是相應(yīng)電流量程的滿度值。電位器指針顯示的數(shù)值是粗略的電流值，準(zhǔn)確的電流值應(yīng)由數(shù)字表顯示讀出。在調(diào)節(jié)好某一量程電流輸出值后，其它各量程的電流會(huì)按此比例數(shù)字輸出，不同量程的電流值的顯示允許相差±2字。一旦電流值調(diào)節(jié)好后，不必每次測(cè)量都調(diào)節(jié)，只需觀察電流調(diào)節(jié)電位器指針是否處于對(duì)應(yīng)的位置即可。

⑵儀器自校，儀器內(nèi)部裝有精度為0.02%、阻值為19.96Ω的標(biāo)準(zhǔn)電阻，供校驗(yàn)主機(jī)中數(shù)字電壓表和恒流源的精度之用。

自校時(shí)，工作選擇開(kāi)關(guān)置于“自?！蔽恢茫娏髁砍涕_(kāi)關(guān)和電壓量程開(kāi)關(guān)按表4設(shè)置。

調(diào)節(jié)好電壓表零位，按下電流開(kāi)關(guān)則數(shù)字顯示板顯示出“199×”，各量程數(shù)值允許相差±4字，如果數(shù)值超差，可以調(diào)節(jié)機(jī)內(nèi)壓板上“I調(diào)節(jié)”窗孔內(nèi)的電位器，使數(shù)字恢復(fù)到“199×”值。

⑶棒狀、塊狀樣品電阻率測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行，由表（5-3）選擇電壓電流量程。

若將電流I值調(diào)節(jié)到與C相等，（C≈6.28。C為探針修正系數(shù)。）則ρ=V，顯示值等于樣品的電阻率值。

⑷薄片電阻率測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行，根據(jù)表3選擇電壓和電流量程。

當(dāng)薄片厚度>0.5mm時(shí)，按公式（3-3）計(jì)算ρ。

當(dāng)薄片厚度<0.5mm時(shí)，按公式（3-4）計(jì)算ρ。

⑸方塊電阻測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行。電流電壓量程按表1選擇，當(dāng)將恒流源輸出電流I 值調(diào)至等于4.53時(shí)，此時(shí)從數(shù)字表上讀出的數(shù)值再乘上10即為實(shí)際的方塊電阻值。

⑹電阻（V/I）測(cè)量，用四端子測(cè)量線作輸入線，按圖5所示夾持好樣品，按測(cè)量步驟進(jìn)行；由表1選擇適合的電流和電壓量程；在“I”調(diào)節(jié)位置，將電流值調(diào)到該量程滿度值（10.00）；再轉(zhuǎn)至測(cè)量位置，此時(shí)數(shù)字表上讀出的數(shù)值為樣品的電阻值。

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