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技術(shù)文章

潔凈室專業(yè)術(shù)語（1）

2.0.1 潔凈室clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間.它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入,產(chǎn)生及滯留
粒子.室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進行控制.
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間.它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入,產(chǎn)生
及滯留粒子.空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,濕度,壓力等按要求進行控制.潔凈區(qū)
可以是開放式或封閉式.
2.0.3 移動式潔凈小室 clean booth
可整體移動位置的小型潔凈室.有剛性或薄膜圍檔兩類.
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
人員在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間.
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進入潔凈區(qū)之前按一定程序進行凈化的房間.
2.0.6 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當量于被測粒子等效的球體直徑.對離散粒子計
數(shù),光散射儀器采用當量光學直徑.
2.0.7 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒
子.
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
具有當量直徑小于0.1μm的粒子.
2.0.9 微粒子 macroparticle
具有當量直徑大于5μm的粒子.
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數(shù).
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù).
2.0.12 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度.
2.0.13 氣流流型 air pattern
對室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布進行合理設(shè)計.
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流.
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional airflow
與水平面垂直的單向流.
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional airflow
與水平面平行的單向流.
2.0.17 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流.
2.0.18 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流.
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域.
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
利用高速潔凈氣流吹落并**進入潔凈室人員表面附著粒子的小室.
2.0.21 氣閘室air lock
設(shè)置在潔凈室出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間.
2.0.22 傳遞窗 pass box
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口.兩側(cè)裝有不能同時開啟的窗
扇.
2.0.23 潔凈工作臺 clean bench
能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺.
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在*小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝.
2.0.25 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成,所有動力接通并運行,但無生產(chǎn)設(shè)備,材料及人員.
2.0.26 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成,生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運行,但無
生產(chǎn)人員.
2.0.27 動態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運行,有規(guī)定的人員在場,并在商定的狀況下進行工作.
2.0.28 檢漏試驗 leakage test
檢查空氣過濾器及其與安裝框架連接部位等的密封性試驗.
2.0.29 高效空氣過濾器 HEPA(high efficiency particulate airfilter)
在額定風量下,對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻
力在250Pa以下的空氣過濾器.
2.0.30 超高效空氣過濾器 ULPA(ultra low penetration airfilter)
在額定風量下,對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力
在280Pa以下的空氣過濾器.
2.0.31 純水 purity water
對電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒,有機物,**和
溶解氣體等)含量均有要求的水.
2.0.32 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后易于消
散或消除,靜電噪聲難以傳播.