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摘要: 本文僅以微電子工業(yè)的發(fā)展對(duì)空氣潔凈技術(shù)提出的要求為中心, 介紹了國(guó)外在分子態(tài)化學(xué)污染控制, 高潔凈度微環(huán)境控制, 新型潔凈產(chǎn)品開發(fā)以及大型潔凈室運(yùn)行節(jié)能等方面, 在近幾年中的技術(shù)發(fā)展.
1, 微電子工業(yè)促進(jìn)了潔凈技術(shù)的發(fā)展
2, 分子態(tài)化學(xué)污染物質(zhì)的控制
3, 幾種有關(guān)特殊過濾技術(shù)
4, 微環(huán)境控制和SMIF隔離技術(shù)
5, 空氣凈化設(shè)備的開發(fā)
6, 地球環(huán)境時(shí)代的潔凈室設(shè)計(jì)與運(yùn)行 \
7, 結(jié)語(yǔ)
當(dāng)前我國(guó)正大力發(fā)展微電子工業(yè), 上海, 北京等地已出現(xiàn)投資集成電路的好勢(shì)頭, 上海中芯公司投資15億美元, 建設(shè)月投資8英寸4.2萬(wàn)片的生產(chǎn)線, 上海宏力公司投資16億美元, 建設(shè)月投8英寸硅片4萬(wàn)片的生產(chǎn)線, 天津Motorola公司8英寸線已試運(yùn)行, 北京信創(chuàng)公司6英寸線, 上海貝嶺公司6英寸線, 杭州士蘭公司6英寸線都在前期工作, 上海規(guī)劃" 十五"建成10條8英寸以上的生產(chǎn)線, 北京規(guī)劃要逐步建成20條生產(chǎn)線. 這對(duì)國(guó)內(nèi)微電子工業(yè)的發(fā)展提供了很大的動(dòng)力, 同時(shí)給國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)的發(fā)展也提出了新的要求, 吸收和消化國(guó)外先進(jìn)技術(shù)是提高國(guó)內(nèi)潔凈技術(shù)水平必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié).
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