| 下載文件詳細資料 | |
| 文件名稱： | [論文]凈化廠房的顆?？刂?/span> |
| 公司名稱： | 深圳市太平洋儀器設(shè)備有限公司 |
| 下載次數(shù)： | 2631 |
| 文件詳細說明： | |
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摘自微電子技術(shù) 摘要： 要獲得10級或1級的凈化間，不僅在IC的生產(chǎn)中要注意顆?？刂?，而且在凈化廠房的建造和設(shè)計過程中也要注意顆?？刂?。 凈化間包含了一個復(fù)雜的環(huán)境控制系統(tǒng)。因為，它幾乎受到任何事情的影響，人們可以通過以下幾方面的工作來增強對凈化的認識，又如，廠房總體設(shè)計及設(shè)備平面布置，遠程的化學(xué)藥品分配，廠房動作細則，無紙化記錄系統(tǒng)，凈化間的監(jiān)測，附加墊，空氣吹淋器和鞋刷的使用，以及清潔規(guī)程。 首先，讓我們來討論一下為確保污染的控制而建造一間凈化間有關(guān)的因素： 一， 廠房建造方案 二， 凈化間的設(shè)計 三， 設(shè)備平面布置 四， 補充空氣 五， 遠程化學(xué)藥品分配 六， 廠房管理細則 七， 無紙張化記錄 八， 凈化間的監(jiān)控 九， 附加墊 十， 空氣吹淋 十一，凈化室的清潔 |
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