商品詳情

高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X

暢銷型號 Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，SEC-Z514MGX，SEC-Z524MGXN，SEC-Z534MGX，SEC-Z544MGX，SEC-Z554MGX，SEC-Z564MGX，SEC-Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，

流量范圍0.5sccm-500SLM

日本horiba堀場/厚禮博品牌的SEC-Z500系列屬于高性能數(shù)字式熱式質(zhì)量流量控制器，主要應(yīng)用MOCVD、PECVD等設(shè)備。

概要

        熱式質(zhì)量流量計是半導(dǎo)體制造設(shè)備中非常關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。
HORIBA銷售量高的數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現(xiàn)高精度±  1.0% S.P.，快速響應(yīng)，有效提高良率及簡化備件管理。

特征

高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補(bǔ)償。此功能實現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實的反應(yīng)實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標(biāo)準(zhǔn)氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真實氣體精度確認(rèn)。

高速響應(yīng)
    裝載“變量PID系統(tǒng)”可實現(xiàn)兩設(shè)定點之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。

多氣體，多量程解決方案
    HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設(shè)備端拆卸。此舉有效減少M(fèi)FC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費(fèi)。