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表面粗糙度與零件表面功能有著密切的關(guān)系,因此人們在很早以前就認(rèn)識到測量表面粗糙度的重要性 。 但由于技術(shù)工藝水平的落后,*早只能單純依靠人的視覺和觸覺來估計(jì),即通過目測或用手觸摸 試件 與標(biāo)準(zhǔn)樣塊進(jìn)行比較,隨著生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展,人們又采用了比較顯微鏡進(jìn)行比對。這些原始的 測量 方法只能對表面微觀不平度做出定性的綜合評定。自從1929年德國的施馬爾茨(Schm altZ)發(fā)明了用 光杠桿進(jìn)行放大的表面輪廓記錄儀后,人們就一直致力于表面質(zhì)量檢測技術(shù)的 研究,從此開始了對表 面粗糙度的數(shù)量化描述。1936年艾博特(Abbott)制成了**臺 車間用測量表面粗糙度的儀器,它是 現(xiàn)在美國Bend公司測微計(jì)分廠生產(chǎn)的表面輪廓儀的先驅(qū) 。這種儀器用測量距離輪廓峰頂?shù)纳疃扰c 支承面積比的關(guān)系曲線即艾傅特曲線來表征表面粗糙度。 測量和評定表面形貌的通用方法是 輪廓法,這種方法只需測量工件表面上的幾個(gè)截面輪廓,然后再 根據(jù)輪廓曲線上的幾何特征計(jì)算出評定 表面質(zhì)量的粗糙度參數(shù),目前世界各國有關(guān)表面粗糙度的標(biāo) 準(zhǔn)都是根據(jù)輪廓法制定出來的。現(xiàn)在常用的 表面輪廓測量方法有很多,如觸針方法、各種光學(xué)方法 和掃描探針顯微鏡技術(shù)等。隨著現(xiàn)代工業(yè)的飛速 發(fā)展,對零件的加工表面質(zhì)量提出了越來越高的要 求,而掃描探針顯微鏡技術(shù)、高精度粗糙度測量儀器 的發(fā)展和數(shù)據(jù)處理能力的提高,使得三維表面 微觀形貌的測量成為可能。近年來,由于計(jì)算機(jī)技術(shù)、電子 技術(shù)、數(shù)據(jù)處理能力的提高,研制了許 多三維表面微觀形貌測量儀,使得在局部表面上三維評定表面粗糙 度成為可行,而且國際上方興未艾。