| 平板顯示器(FPD)是潔凈室工業(yè)高速發(fā)展的部分,特別是在亞洲.雖然在亞洲有非常重要的市場,但是在北美和歐洲只有很小的市場.
*普通的平板顯示類型是液晶顯示器(LCD),從20世紀70年代初,就開始廣泛地使用了.液晶顯示器大約占整個平板顯示器市場的80%,其中大部分是薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD).TFT-LCD主要用于筆記本和計算機、臺式監(jiān)視器和電視。
其它技術(shù)包括有機發(fā)光二極管（OLED）、等離子體顯示板（PDP）、場致發(fā)射顯示器（FEDs）和柔性面板。由于移動電話、MP3播放器和汽車立體音響使用的小型顯示器需求量的增加，有機發(fā)光二極管（OLED）工業(yè)每年增長率也很高。
世界上一些*大的潔凈室都用在平板顯示器制造設(shè)施中，亞洲平板顯示器廠的潔凈室空間比美國*大的300毫米芯片廠的空間還要大5倍。雖然平板顯示器制造設(shè)施與半導體生產(chǎn)車間有許多類似之處，但也有一些重要的差別。例如，在生產(chǎn)平板顯示器過程中，幾乎不關(guān)心分了污染問題。由于該技術(shù)的性質(zhì)，污染對顯示器的工作性能沒有多大影響。
不管有源矩陣液晶顯示器（LCD）的特征尺寸有幾微米，其工藝過程實際上只對小很多的微粒敏感。小于1微米的顆粒會造成嚴重的問題，因為它們能引起鎦金屬層之間的短路。除了采用高效微?？諝膺^濾器過濾空氣中的微粒外，平板顯示器工業(yè)還有特殊的考慮。首先，基層可成為一個微粒源，特別是它在來回移動時。例如，基層邊緣碰撞到某種物體時，會掉下一些碎片。因為基層很大并且是不導電的，因而會造成靜電積累。靜電不僅會損壞裝置，還可以便于工作基層變成一塊小磁鐵。另一個問題是基層尺寸，目前一邊只能做到400毫米。
標準顯示器尺寸的不斷變化也會對制造廠家的工具、自動傳送設(shè)備和微環(huán)境帶來問題。因為TFT工廠用的*主要的工具都放在微環(huán)境里。大型生產(chǎn)工具的運動會便氣流的不規(guī)則性極端放大，相對于微電子行業(yè)同一工藝而言要大得多。即使來傳送平板基層的傳送箱也和辦公桌差不多大。
由于在*新一一代平板設(shè)施中使用的*典型的材料儲運系統(tǒng)擴展式網(wǎng)絡，材料處理自動化程序達100%，所以空氣流動就成為更關(guān)心的問題。自動化包括設(shè)備接口系統(tǒng)、地面支撐傳送系統(tǒng)、儲料器有軌車（RGVs）。將這些系統(tǒng)與潔凈室設(shè)計集成起來是工程成功的關(guān)鍵。地面?zhèn)魉?、自動導向車（AGV）或手控車（MGV）用于試驗工廠的玻璃處理。
通常采用大空間式設(shè)計。大空間式配置靈活性大，能適應FPD制造中常用的各種工具的組合和尺寸要求，并能簡化大型工具的安裝。*新TFT-LCD和PDP設(shè)施用設(shè)備有的可達20到40米長，7到10米寬。將這些設(shè)備綜合起來，生產(chǎn)線可到100米長。
在玻璃基質(zhì)進入生產(chǎn)車間前進行清洗和拋光以及完工產(chǎn)品包裝的過程中，產(chǎn)品暴露于空氣中時要求局部區(qū)域清潔度為ISO4級，其它區(qū)域則*低可到ISO7級。一般的生產(chǎn)環(huán)境清潔度要求為ISO6級。
由于平板顯示器（FPD）潔凈室中墻面與地面面積比率低，所以，新風中的增壓部分相對來說也低。附加的工藝排風可導致新風量達到百萬CFM（立方英尺/分）。
中國臺灣和韓國在顯示器的關(guān)鍵器件方面正在競爭領(lǐng)導地位。在2004年，韓國占全世界薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）市場的46%，臺灣占44%。臺灣期望到2006年在TFT-LCD的生產(chǎn)上超過韓國。
韓國曾預計在2005年占全世界等離子體顯示器（PDP）市場分額的64%，而日本預計占PDP市場的35%。PDP更適合于40英寸以上的電視使用。
平板顯示器工業(yè)需要成行上萬人穿著工作服在大空間式潔凈室中工作，因此它是服裝、手套、擦布及其它消耗品的大市場。
表1：世界平板顯示器耗材的采購量
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2004
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2005
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2006
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2007
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2008
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Japan
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34%
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42%
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50%
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57%
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65%
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South
Korea
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27%
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34%
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42%
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50%
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59%
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Taiwan
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34%
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44%
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57%
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67%
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82%
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China
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1%
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1%
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2%
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2%
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2%
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ROW
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4%
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5%
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6%
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7%
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8%
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Total
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100%
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126%
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157%
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184%
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216%
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表1顯示了世界上國家和地區(qū)線年的平板顯示器潔凈室購買的統(tǒng)計數(shù)字，以2004為底數(shù)。將來年份的百分比數(shù)字是以2004年的數(shù)字為基礎(chǔ)計算的。例如，日本在2004年購買平板顯器潔凈室耗材品占34%。到2008年，日本購買的耗品相對2004年將占65%。
到2008年，臺灣將是FPD工廠設(shè)施耗品的量大購買者，在韓國和臺灣的銷售量將不止翻一翻.
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