**個專為潔凈室撰寫的標準稱為“技術手冊（T.O.）00-25-203”，是由美國空軍于1961年頒布的。白紙黑字，有書為證。該書頒布了潔凈室設計與懸浮粒子標準，還頒布了一些工作程序，比如進入潔凈室的程序，服裝要求，控制某些粒子、材料的潔凈要求，房間潔凈步驟。但對潔凈室的設計和運行產(chǎn)生了*大影響，成為包括ISO14644-1在內的大多數(shù)國際保證之基礎的，則是美國聯(lián)邦標準FS209。

    1963年，發(fā)明了單向流理念的圣地亞公司的專家們，在美國軍方、政府部門和同行們的支持下，撰寫了**個FS209標準。該標準既涉及了傳統(tǒng)型也涉及了單向流潔凈室。該標準中**次建議使用光學粒子計數(shù)器測量大于等于0.5μm的粒子。而這種儀器在剛剛進入商業(yè)化生產(chǎn)。人們常常問為什么聯(lián)邦標準采用0.5μm作為標準粒徑。答案為，因為這一粒徑這正是“可以實現(xiàn)的水平”，即當時的粒子計數(shù)器可以毫無困難地測量出來的*小粒徑。

    還有人問為什么在FS209標準中監(jiān)獄單向流潔凈室的風速為90英尺/分鐘。據(jù)說這是圣地亞公司**個層流潔凈室中**送風過濾器前掉落的粒子的理論風速，而另一個說法則說這是**一個威利斯·懷特菲爾德能找得到的風機所達到的風速。為此威利斯·懷特菲爾德闡述說：該風機的風速可達50英尺/分鐘至200英尺/分鐘。但當風機以高速運轉時，嗓音很大，維護費用昂貴。如果風機以50英尺/分鐘速度運轉，且房間內僅有1人，就有可能維持良好的粒子計數(shù)。但當房間內有若干人時，要控制粒子污染則需要90英尺/分鐘至100英尺/分鐘的風速。因為當時緊迫需要單向流潔凈室的設計數(shù)據(jù)，威利斯·懷特菲爾德和他的團隊沒有時間進行徹底的科學計算，于是就采用了這一風速。

    *好先說明潔凈室標準所使用的粒徑來開始本書的這一章節(jié)。粒徑的測量單位是微米，1微米（μm）等于百萬分之一米。圖3.1是粒徑比較圖。一根人發(fā)很容易被看到，其直徑大約是70～100μm。另一個可幫助理解粒徑概念的例子是，人眼所能看到的粒徑大約為50μm。當然，還要看視力水平，粒子的顏色、背景顏色等。

    潔凈室的級別是按其空氣潔凈度劃分的。美國聯(lián)邦標準209A至D的潔凈室分級*容易理解。但該等級正被*新版本E所取代，后又被ISO14644-1所取代。盡管如此，老版本仍被廣泛采用。在聯(lián)邦標準的老版本中（A至D），大于等于0.5μm粒子的數(shù)量是按每立方英尺空氣計數(shù)的，并以次計算和劃分潔凈室的等級。而*新的聯(lián)邦209E標準采用了公制。到1999年，頒布了ISO14644-1。該標準已經(jīng)被歐洲所有國家采用，并逐漸為世界其他國家所采用。

    本資料中采用的是ISO14644-1的潔凈室分級標準，并在括號中注明了FS 209的相應級別。例如，ISO 5級

    聯(lián)邦標準209于1963年在美國首先公布，其，名稱是“潔凈室和工作站（受控環(huán)境）技術條件“。到1966年做了更改（209A），1973年更改為版本B，1987年改為版本C，1988年改為版本D，1992年改為版本E。表3.1給出了209A至209D的潔凈室分級限值。劃分潔凈室的具體級別，上一看所測得的該潔凈室每立方英尺空氣中大于等于0.5μm粒子的數(shù)量，未超過哪個級別的限值。這樣就可確定該潔凈室的等級。

 

 

    聯(lián)邦標準209E的室內懸浮粒子濃度以公制單位即每立方米表示。潔凈級別則為每立方米大于等于0.5μm 懸浮粒子濃度之對數(shù)。例如，M3級潔凈室對大于等于0.5μm粒子的限值為1000/mэ。1000的對數(shù)為3，其級別就是3級。見表3.2。美國環(huán)境科學與技術學會有該標準的新版本。

 

 3、ISO 14644-1標準

    國際標準化組織ISO正在制定潔凈室的系列標準，它涵蓋了潔凈室的重要項目，例如設計、測試、運行、生物污染等。1999年出版了其**個標準ISO14644-1，題為“空氣潔凈度等級“并給出了潔凈室分級方法。對于其他的標準，在本書第四章做了討論，并給出惡劣購買ISO14644-1標準的信息。

 其中：

    Cn為大于等于選定粒徑之粒子的*大允許濃度（粒子數(shù)量/每立方米空氣）

    Cn四舍五入至整數(shù)，非零有效數(shù)字不超過3個。

    N是ISO的級別數(shù)字，不大于9?？梢?guī)定ISO的中等級別，等級差*小為0.1。

    D是所選定的粒徑，以μm為量綱的常數(shù)。

    任何選定粒徑的懸浮粒子之*大允許濃度，也就是級別，都可以按3.1的公式算出。為說明分級限制，表3.3給出了ISO14644-1的分級級別。

    應當注意的是，潔凈室的ISO14644-1級別與聯(lián)邦標準209的級別可以轉換。如果ISO標準的每立方米粒子濃度被35.2除，就轉換成沒立方英尺的粒子計數(shù)。就可以在表3.3中找到聯(lián)邦標準2090.5μm粒徑的相應級別。例如，ISO 5級相當于聯(lián)邦209的100級或M3.5級。

 

   ISO14644-1以圖形給出了同樣的信息，見圖3.2。應當意識到，一給定潔凈室的懸浮粒子濃度，與該室內所進行的產(chǎn)生粒子的活動相關。

 

        一個空房間的粒子濃度會很低，這更能反映送風的質量。如果房間內有產(chǎn)生設備并在運行，粒子濃度會高些。但房間在**運行時的粒子濃度*高。因此，可在不同的占用狀態(tài)下確定潔凈室的分級。

    ISO14644-1規(guī)定的占用狀態(tài)如下：

    “空態(tài)” ：潔凈室所有設施要安裝完畢并在工作，但無生產(chǎn)設備、材料或人員在場。

    “靜態(tài)” ：潔凈室所有設施在運行，生產(chǎn)設備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運行，但無人員在場。

    “動態(tài)” ：設施、設備以規(guī)定的方式運行，有規(guī)定數(shù)量的人員按事先同意的方式在工作。

    ISO 14644-1還給出了在各個采樣點進行粒子測量以檢查潔凈室水平的方法。其采樣點數(shù)量的計算，采樣量的確定，懸浮粒子計數(shù)方法，與聯(lián)邦標準209E類似。

    對超出表3.2粒徑范圍的粒子ISO14644-1還做出了規(guī)定。該標準中稱為“超微”（≤0.1μm）的小粒子對半導體業(yè)非常重要。而某些工業(yè)部門，象某些醫(yī)療工業(yè)，則更關注宏粒子（≥5μm），小粒子對它們沒有什么實際的重要性。該標準還對纖維下了定義。宏粒子所使用的M描述符的表達式為：‘M（a;b）;c’

    其中：a是*大允許濃度/ mэ

    b是當量直徑   c是規(guī)定的測量方法。