產(chǎn)品系列及特性
64-3200單級(jí)壓力、超高純度、高流量
輸入壓力
輸出壓力
允許內(nèi)泄露
流量系數(shù)
閥體材料
·固定隔板設(shè)計(jì)
150PSIG
30,60,100,
<1×10-9
0-900SLPM
316L不銹鋼
·10Ra微英寸拋光
(0-32SCFM)
·可供Hastelloy鎳合金部件
·Cv=1.2