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空氣過濾器標準和效率

空氣過濾器標準和效率

隨著微電子工業(yè)的發(fā)展, 對高效過濾器要求越來越嚴, 德國標準DIN24183率先提出
"*容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size, 簡稱MPPS)法, 并采用*容易穿
透粒徑來檢測空氣過濾器的效率. 其實不同的濾料和不同的濾速*容易穿透粒徑是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范圍內(nèi). 然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實驗.
MPPS是目前*嚴格的試驗標準,
具體測試一般采用DOP方法.

DOP(鄰苯二甲二辛酯)法: 實驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴, 測量粉塵儀器為光度
計, 以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子計數(shù)器或凝結(jié)核計數(shù)器對過濾器整個出風面進行掃描檢驗.
 

中國標準 歐洲標準
EN779-1993		 美國DOP法
0.3um效率/%		 ASHRA標準
計重法效率/%		 ASHRAE標準
比色法效率/%
粗效過濾器 G1 　 < 65 　
粗效過濾器 G2 　 65-80 　
粗效過濾器 G3 　 80-90 　
中效過濾器 G4 　 >=90 　
中效過濾器 F5 　 　 40-60
高中效過濾器 F6 20-25 　 60-80
高中效過濾器 F7 55-60 　 80-90
高中效過濾器 F8 65-70 　 90-95
高中效過濾器 F9 75-80 　 >=95
亞高效過濾器 H10 > 85 　 　
亞高效過濾器 H11 > 98 　 　
高效過濾器A H12 > 99.9 　 　
高效過濾器A H13 > 99.97 　 　
高效過濾器B H14 > 99.997 　 　
高效過濾器C U15 > 99.9997 　 　
高效過濾器D U16 > 99.99997 　 　
高效過濾器D U17 > 99.999997 　 　

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敏感元器件靜電壓標準

HBM模式(人體模式) ESD STM5.1-1998
級別 靜電壓范圍
Class 0 < 250V
Class 1A 250-<500V
Class 1B 500-<1,000V
Class 1C 1,000-<2,000V
Class 2 2,000-<4,000V
Class 3A 4000-<8,000V
Class 3B >=8,000V
MM模式(機器模式) ESD STM5.2-1999
級別 靜電壓范圍
Class M1 < 100V
Class M2 100-<200V
Class M3 200-<400V
Class M4 >=400V
CDM模式( 放電模式) ESD STM5.3.1-1999

級別

 靜電壓范圍
Class C1 < 125V
Class C2 125-<250V
Class C3 250-<500V
Class C4 500-<1,000V
Class C5 1,000-<1,500V
Class C6 1,500-<2,000V
Class C7 >=2,000V


 


 

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