電容式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
 單電容平板壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理

  電容式傳感器分為極距變化型、面積變化型，當(dāng)被測(cè)參數(shù)的變化通過這三種情況之一直接影響電容量的大小時(shí)，檢測(cè)出電容的變化時(shí)就等于獲得了被測(cè)參數(shù)的大小，電容式壓力傳感器常采用極距變化型。壓力使傳感器**的可動(dòng)部件即測(cè)量膜片極板產(chǎn)生微小的位移，造成與固定極板所形成的電容量發(fā)生變化
。

2雙電容平板差動(dòng)型壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理

  為提高靈敏度和減小非線性，大多壓力傳感器休用雙電容平板差勁結(jié)構(gòu)，可動(dòng)極板位于兩塊固定板極之間，與兩固定極板等距離，當(dāng)壓力使可動(dòng)極板向上移動(dòng)時(shí)，引起差動(dòng)電容增大，減小。

與單電容式壓力傳感器相比，不僅靈敏度提高，非線性誤差也變小了，可見差動(dòng)式壓力傳感器優(yōu)于單電容壓力傳感器。