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半導(dǎo)體材料磨邊機專用NAKANISHI空氣軸承渦輪式主軸ABT-1600
日期:2025-11-01 08:33
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摘要:NAKANISHI空氣軸承渦輪式主軸ABT-1600通過采用空氣靜**承和新型高性能渦輪小型結(jié)構(gòu),實現(xiàn)高負載能力和高扭矩,直徑φ40、*高轉(zhuǎn)速160,000min-1、跳動精度1μm以內(nèi),可安裝在半導(dǎo)體材料磨邊機上進行半導(dǎo)體芯片邊緣研磨、凹槽加工等超精細加工。
NAKANISHI空氣軸承渦輪式主軸ABT-1600通過采用空氣靜**承和新型高性能渦輪小型結(jié)構(gòu),實現(xiàn)高負載能力和高扭矩,直徑φ40、*高轉(zhuǎn)速160,000min-1、跳動精度1μm以內(nèi),可安裝在半導(dǎo)體材料磨邊機上進行半導(dǎo)體芯片邊緣研磨、凹槽加工等超精細加工。
轉(zhuǎn)速檢測方法
內(nèi)置磁電傳感器(每旋轉(zhuǎn)一周輸出 2 個脈沖信號)
氣動管路規(guī)格
渦輪供氣:φ6mm 管徑
空氣軸承供氣:φ4mm 管徑
溫馨提示:
※當(dāng)以*高轉(zhuǎn)速(160,000 轉(zhuǎn) / 分鐘)運行時:
1、軸裝砂輪及工具的突出長度需控制在 17mm 以下。
2、若工具全長超過 40mm,需截斷后使用。
3、若需增加工具突出長度,需降低轉(zhuǎn)速使用。
※必須使用清潔干燥的壓縮空氣。
※未向空氣軸承供氣時,嚴禁旋轉(zhuǎn)主軸或更換刀具 / 夾頭(主軸與軸承處于接觸狀態(tài),此時操作會導(dǎo)致接觸部位磨損,可能造成設(shè)備功能異常)
※即使主軸處于停止?fàn)顟B(tài),也需持續(xù)向空氣軸承部位供氣。
※先啟動主軸旋轉(zhuǎn),待轉(zhuǎn)速穩(wěn)定后再開始加工。
ABT-1600 優(yōu)勢:
*高轉(zhuǎn)速16萬轉(zhuǎn)可實現(xiàn)高速切削、磨削加工、打孔加工等。
通過氣浮軸承和渦輪驅(qū)動,可實現(xiàn)高旋轉(zhuǎn)精度。
本體外徑為φ40mm,小型緊湊。
通過對渦輪葉片的改良,能以消耗較低空氣量的同時輸出高扭矩。
采用渦輪排氣的冷卻結(jié)構(gòu),實現(xiàn)低發(fā)熱、低熱膨脹。
僅通過簡單的氣管連接即可輕松使用。
通過利用排氣,強化運轉(zhuǎn)中/加工中的防塵效果。
氣浮軸承采用硅碳材料,且轉(zhuǎn)軸使用特殊涂層,以提高在特定情況下的耐燒結(jié)性。
標(biāo)準搭載磁性傳感器,可與市場銷售的旋轉(zhuǎn)顯示器連接,
從而實現(xiàn)實時監(jiān)測如:實際轉(zhuǎn)速、或轉(zhuǎn)速變化、旋轉(zhuǎn)異常等功能。
不使用磁性傳感器時,可通過拆解拆下傳感器及線纜。(組裝方法在操作說明書中另行記載)




