推薦配置
WDI MMS ATF4/6-LLC
WDI 自動(dòng)聚焦—適用于鏡面/pattern樣品
Z軸精度—0.165 μm/step
建議物鏡—5/10/20/50/100X 物鏡(N.A 不大于0.75)
案例分析
Wafer