采用先進的第三代GEMINI鏡筒的∑IGMA場發(fā)射掃描電子顯微鏡在處理所有材料方面有杰出表現。GEMINI鏡筒因其操作簡單,極低壓成像和超穩(wěn)定探測電流等優(yōu)勢得到廣大用戶的認可,同時可提供高分辨率的能譜分析和波譜分析.
SUPRA系列電子顯微鏡的核心就是獨特的GEMINI電子光學系統(tǒng)設計,打破了傳統(tǒng)的電子光學系統(tǒng)設計許多局限性。在GEMINI鏡筒中,電子束僅交叉一次,即在試樣表面上的聚焦點處,這樣就徹底消除了電子束能量發(fā)散擴大的問題。尤其在低加速電壓情況下,GEMINI物鏡可以提供出色的分辨率和圖像質量,同時不會影響操作的方便性。
∑IGMA可處理直徑達250mm和高為145mm的試樣,此外,理想的共面設計使得能譜分析(EDS)和背散射電子分析(EBSD)同時使用。
用途:
掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域,進行材料的微觀形貌、組織、成分分析,各種材料的形貌組織觀察,材料斷口分析和失效分析,材料實時微區(qū)成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面掃描和線掃描分布測量,晶體、晶粒的相鑒定,晶粒尺寸、形狀分析,晶體、晶粒取向測量。
技術參數:
分辨率: 1.3nm@20KV 1.5nm@15KV 2.8nM@1KV
放大倍數:12 - 1,000,000x
加速電壓:0.1V-30KV
探針電流:4 pA - 20nA(4pA-40nA 可選)
樣品室: 330 mm (?) x 270 mm (h)
樣品臺: 5軸驅動優(yōu)中心全自動
X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50mm
傾斜角T = 0 - 90°
R = 360°連續(xù)旋轉
系統(tǒng)控制:基于Windows XP 的SmartSEM操作系統(tǒng),可選鼠標、鍵盤、控制面板控制