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等離子灰化機 PR500/510DP

產(chǎn)品價格： < 面議
產(chǎn)品型號：PR500/510DP
品 牌：日本雅馬拓
公司名稱：濰坊普分儀器有限公司
所 在 地：山東濰坊
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產(chǎn)品簡介

日本雅馬拓低溫等離子灰化機、經(jīng)典桶型：采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510),提高了操作性及**性，等離子灰化機是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備

產(chǎn)品詳細信息

日本雅馬拓等離子灰化機、高頻輸出 50~500W 反應(yīng)腔 Φ215×305mm

等離子灰化機、低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動控制

PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及**性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

 等離子灰化機、用途

●去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)


等離子灰化機、特征

● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計
● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）

等離子灰化機、內(nèi)槽

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硅晶圓灰化狀態(tài)

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等離子灰化機、規(guī)格 

型號 PR500 PR510
模式 DP模式，桶型
控 制 部 高頻輸出功率 Max500W
頻率 13.56MHz
同調(diào)方式 自動協(xié)調(diào)
反 應(yīng) 部 反應(yīng)腔 石英 Φ215×305mm
反應(yīng)氣體 2系統(tǒng)（O 2 ／CF 4 ）
控制 手動 觸摸屏自動控制
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍
外形尺寸 W438×D520×H760mm  參照規(guī)格書
重量 約60kg 參照規(guī)格書
電源 單相AC100V 9A 三相AC200V 8A

 

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