1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV

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產(chǎn)品價格： < 面議

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-F3LV

品牌：MTI

公司名稱：深圳市科晶智達科技有限公司

所在地：廣東深圳

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產(chǎn)品簡介

GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，*高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品詳細信息

技術參數(shù)
管式爐結構	采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
	保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
	內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
*高工作溫度	1700℃
*大升溫速率	5℃/min
*大降溫速率	5℃/min
加熱區(qū)長度	455mm (18")
恒溫區(qū)長度	150(+/-1℃) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng)	一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
	可設置30段升降溫程序
	帶有過熱和斷偶保護
控溫精度	+/-1℃
爐管材質和尺寸	99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
	（標配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length
	（選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
密封法蘭	兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門
	通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
	泄漏率*大6 mtorr/min
輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：*大5KW
真空泵和配件	真空泵	一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內
	真空泵	通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
	配件	標配的真空配件: 一對不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
		一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
		可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。
氣體流量計	3個浮子流量計（***度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體
	第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min
	第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min
	第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min
	一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接，來監(jiān)測混合氣體的壓力
	四個不銹鋼針閥安裝在前面板上

運輸信息	產(chǎn)品尺寸	外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
		爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
		混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機組： 600 x 600 x 700mm
	凈重	450 lb (總計)
	運輸重量	500 lb (總計)
質保期	一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件
質量認證	CE certified

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