1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV

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產(chǎn)品型號(hào)：GSL-1700X-F3LV

品牌：MTI

公司名稱：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

所在地：廣東深圳

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，*高溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

技術(shù)參數(shù)
管式爐結(jié)構(gòu)	采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
	保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
	內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
加熱元件	1800 grade MoSi2 ( 8根)
*高工作溫度	1700℃
*大升溫速率	5℃/min
*大降溫速率	5℃/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度	455mm (18")
恒溫區(qū)長(zhǎng)度	150(+/-1℃) 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng)	一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過(guò)可控硅 SCR
	可設(shè)置30段升降溫程序
	帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
控溫精度	+/-1℃
爐管材質(zhì)和尺寸	99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
	（標(biāo)配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length
	（選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
密封法蘭	兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配）和閥門
	通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr
	泄漏率*大6 mtorr/min
輸入電源	AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：*大5KW
真空泵和配件	真空泵	一個(gè)雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動(dòng)架內(nèi)
	真空泵	通過(guò)此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr
	配件	標(biāo)配的真空配件: 一對(duì)不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個(gè)不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
		一個(gè)1000mm長(zhǎng)的KF-25 不銹鋼波紋管和四個(gè)KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
		可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
氣體流量計(jì)	3個(gè)浮子流量計(jì)（***度4%FS）安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體
	第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min
	第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min
	第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min
	一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接，來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力
	四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上

運(yùn)輸信息	產(chǎn)品尺寸	外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
		爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
		混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組： 600 x 600 x 700mm
	凈重	450 lb (總計(jì))
	運(yùn)輸重量	500 lb (總計(jì))
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證	CE certified

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