小型1000℃RTP爐 OTF-1200X-4-RTP

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產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-4-RTP

品牌：科晶

公司名稱：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

所在地：廣東深圳

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產(chǎn)品簡介

小型1000℃RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（*大達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱*快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線 。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

小型1000℃RTP爐技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)	● 雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷） ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
加熱元件	● 8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）（點(diǎn)擊圖片查看詳情）
加熱區(qū)	12" length with 4"X12”恒溫區(qū)（ +/-5oC ）
石英管和樣品架	● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length ● 3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，石英材料 ● 一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品 ● AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C
真空法蘭	● 帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O”型圈密封 ● 滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確
水冷	如果要求通冷卻水 ● 請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI ● 我們建議采用循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水） ● 警告: 這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時(shí)間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融
小型1000℃RTP爐流量計(jì)	范圍： 16 - 160 ml/min
真空表	● 標(biāo)配：數(shù)字真空表，測量范圍：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮?dú)庀滦?zhǔn)的，只有在氮?dú)夂涂諝庀卤砩巷@示的是實(shí)際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時(shí)，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會(huì)很嚴(yán)重。 ● 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)參數(shù)）
真空度	● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr ● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr
溫度控制	PID 自動(dòng)控制，可控硅 SCR
熱偶	進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下
溫控儀	● PID 自動(dòng)控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù) ● 熱偶: 進(jìn)口K type ● 自整定功能 ● 控溫精度: +/- 1°C ● RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購） ● 溫控操作視頻：點(diǎn)擊查看
*快升溫速度	室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec
*新升溫曲線	直接升溫到1000℃；分階段升溫?cái)?shù)據(jù) 請點(diǎn)擊查看
*快降溫速度	● 60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個(gè)大氣壓下) ● 選擇: 為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:
溫度	*高1100oC ，額定1000°C
電源	208-240 AC, 50/60 Hz 單相, *大功率9KW (> 60A 保險(xiǎn))
注意	此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE）
尺寸	760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
重量	45 kg (100 lbs)
保修期	電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）
認(rèn)證	● CE 認(rèn)證 ● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證 ● 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證
國家磚利	磚利名稱：一種快速高溫退火爐磚利編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4 尊重**、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
注意事項(xiàng)	①爐管內(nèi)氣壓不可高于 0.02MPa ②由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加**** ③當(dāng)爐體溫度高于 1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ④進(jìn)入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ⑤石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ⑥對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

標(biāo)準(zhǔn)裝箱單
商品編碼	名稱	數(shù)量	圖片
EQ-CVM-211	數(shù)字真空計(jì)： 10-4 Torr	1
RT36-00	63A保險(xiǎn)	2
RT14-20	4A保險(xiǎn)	2
RTP-ACC-01	石英樣品架	1
AIN-Holder	樣品架上的AlN基片	1
KSL7-05	高溫手套, 耐 900 oC	1 pair
EQ-QZTube-RTP	石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length	1
RTP-ACC-02	石英擋板	4pcs
	聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm	1
	高溫硅膠圈(6 個(gè)）	9
EQ-RTP-Halogen-light	紅外燈管	8
	水管接頭	2
	一對真空法蘭	1
EQ-KF-Clamp-D25	KF-D25 快接	2

高真空選配清單
了獲得較高的真空，我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達(dá)50 mtorr)
名稱	數(shù)量	圖片
真空泵, 兩級旋片Two Ste高速真空泵和兩級排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)	1
配KF-D25口的波紋管 (1m)	1
KF-D25 真空快接	1

RTP快速加熱爐

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