膜厚監(jiān)測(cè)儀 EQ-TM106

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產(chǎn)品價(jià)格： < 面議

產(chǎn)品型號(hào)：EQ-TM106

品牌：MTI

公司名稱：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

所在地：廣東深圳

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合先進(jìn)的頻率測(cè)量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中，對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)	● 本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 ● 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM ● 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 ● 通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門(mén)控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫(xiě)入Excel文件。 ● 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件	● 電源：DC 5V（±10%），*大電流400mA ● 頻率分辨率：±0.03Hz ● 膜厚分辨率：0.0136?（鋁） ● 膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過(guò)程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度 ● 測(cè)量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置 ● 測(cè)量范圍：500000?（鋁） ● 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz ● 計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無(wú)） ● 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開(kāi)路或內(nèi)部5V輸出） ● 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 ● 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2顯示儀	● 輸入電源：AC 220V±10% ● 輸出電源：DC 5V 3A ● 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED ● 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位 ?，奇偶校驗(yàn)：無(wú)） ● 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探頭	● 適用晶片頻率：6MHz ● 適用晶片尺寸：Φ14mm ● 安裝法蘭：CF35 ● 冷卻水管：Φ3mm，長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm ● 冷卻水壓：<0.3MPa ● 氣動(dòng)擋板路管：Φ3mm ● 壓縮空氣壓力： ● 烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃ ● 電氣接口：BCN插座
標(biāo)準(zhǔn)配件	1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè)
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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