EQ-PCE-3 等離子清洗機(jī) EQ-PCE-3

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產(chǎn)品價(jià)格： < 面議

產(chǎn)品型號：EQ-PCE-3

品牌：MTI

公司名稱：深圳市科晶智達(dá)科技有限公司

所在地：廣東深圳

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產(chǎn)品簡介

    EQ-PCE-3 是微型臺式等離子清潔儀，這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來**玻璃、半導(dǎo)體、高分子材料、 金屬基座的表面納米有機(jī)污染物，在高射頻（RF）功率的情況下的*大有機(jī)物去除率約為10nm/min 。對材料進(jìn)行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對單晶基片進(jìn)行清潔能獲取更好的效果。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

產(chǎn)品型號：	EQ-PCE-3 微型臺式等離子清潔儀（帶真空泵）
產(chǎn)品簡介：	EQ-PCE-3 是微型臺式等離子清潔儀，這款離子清潔儀可利用空氣、氧氣或氬等離子來*玻璃、半導(dǎo)體、高分子材料、金屬基座的表面納米有機(jī)污染物，在高射頻（RF）功率的情況下的大有機(jī)物去除率約為10nm/min 。對材料進(jìn)行涂覆鍍膜前,使用本等離子清潔儀對單晶基片進(jìn)行清潔能獲取更好的效果。
主要特點(diǎn)：	外型美觀精巧可調(diào)節(jié)射頻功率(高、中、低) 操作**,成本低廉,對人類和環(huán)境無害
技術(shù)參數(shù)：	1. 輸入電源：115V AC ,50/60 Hz；或 230V AC, 50/60 Hz, ﹤ 200W 2. 輸出頻率：13.56 MHz 3. 等離子發(fā)射頻率：三種可調(diào)輸出電壓: 低 680V DC 10mA DC 6.8W 中 700V DC 15mA DC 10.5W 高 720V DC 25mA DC 18 W 4. 等離子艙體：76mm(直徑)x 165mm(長) 硼硅酸玻璃艙體可拆卸式前蓋 5 .真空泵與控制閥門：雙極旋片真空泵 (110V, 226 L/m) 帶過濾器和KF-D25閘口----配有KFD25接頭, 600mm長不銹鋼管與高質(zhì)量的過濾器 6. *大終端壓力為30 mTorr或更小 7. 1/8" NPT 針型閥門有效控制氣體的流動(dòng)和艙體內(nèi)的壓力 8. 1/8" NPT 三通閥門以便放散氣體, 艙體隔離及泄氣狀態(tài)的轉(zhuǎn)換 9. 惰性氣體：根據(jù)所需清洗的污染物可選擇采用N2, Ar, Air 和混合氣體注意不能使用可燃性氣體
標(biāo)準(zhǔn)配件：
可選配件：	若使用2"晶體石英舟,這種清潔儀能一次處理25個(gè)直徑2"的晶體；數(shù)碼真空計(jì)量器，用于**調(diào)控艙體壓力
產(chǎn)品規(guī)格：	規(guī)格：216mm(H) x 254mm(W) x 203mm(D) 凈重：6.5 kg （不帶真空泵）14.0 kg（帶真空泵）