產(chǎn)品型號：

PECVD-等離子體增強化學(xué)氣相沉積法

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD）

            我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定（含采購商ISO14000環(huán)境體系的要求），不會造成環(huán)境污染；

          該產(chǎn)品符合含采購商OHSMS18000職業(yè)**健康管理體系標準的要求，不會對接觸產(chǎn)品的人員健康造成傷害！

輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³

電子氣溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。

因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

下圖顯示的是PECVD法用500V交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

OTF-1200X開啟式管式爐，工作溫度高達1200℃                  化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖

 技術(shù)參數(shù)：

• 開啟式管式爐

工作溫度：1200℃

爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

加熱區(qū)長度：440mm

恒溫區(qū)長度：150mm

功率：AC 220V 4KW

• 等離子射頻電源

輸出功率：50-500W*大可調(diào)±1%的穩(wěn)定性

RF頻率：2-150MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào)

噪聲：≤55DB

冷卻：空氣冷卻

輸入功率：1KW  AC 220V

• 真空泵和閥門

采用KF25系列波紋管和精密球閥連接

真空度可達10^-3torr

數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

• 質(zhì)量流量計

1. 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量
2. 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
3. 一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
4. 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量
5. 進氣口：采用國際標準雙卡套接頭

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爐體：550*380*520mm

供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm

凈重：120KG