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AEP NanoMap 500LS 臺階儀 AEP NanoMap 500LS

產(chǎn)品價格： < 面議
產(chǎn)品型號：AEP NanoMap 500LS
品 牌：其它品牌
公司名稱：岱美有限公司
所 在 地：上海
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產(chǎn)品簡介

AEP NanoMap 500LS  臺階儀:美國AEP 公司專注于表面測量技術(shù)開發(fā)與應(yīng)用, 其生產(chǎn)的臺階儀和光學(xué)輪廓儀, 厚度、粗糙度、孔深 …等三維空間尺寸測量，并適用于多種產(chǎn)業(yè)，例如 : 芯片封裝、MEMS 、電路板、 LED、LCD。同時AEP亦開發(fā)出實(shí)時應(yīng)力分析及鍍膜后的應(yīng)力測量設(shè)備, 以滿足高新行業(yè)產(chǎn)品微日漸小化與高精度的要求

產(chǎn)品詳細(xì)信息


產(chǎn)品簡介：

美國AEP 公司專注于表面測量技術(shù)開發(fā)與應(yīng)用, 其生產(chǎn)的臺階儀和光學(xué)輪廓儀, 厚度、粗糙度、孔深 …等三維空間尺寸測量，并適用于多種產(chǎn)業(yè)，例如 : 芯片封裝、MEMS 、電路板、 LED、LCD。同時AEP亦開發(fā)出實(shí)時應(yīng)力分析及鍍膜后的應(yīng)力測量設(shè)備, 以滿足高新行業(yè)產(chǎn)品微日漸小化與高精度的要求.

NanoMap 500LS  臺階儀特點(diǎn):

°  結(jié)合常規(guī)的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù), 雙模式操作:

       長程掃描:  100mm特長掃描距離

       短程掃描: 采用**的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描

                 范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm

°  標(biāo)配5寸樣品臺, 8/12寸可選, 又可訂做更大尺寸

°  不用額外付費(fèi)，AEP 提供3D 測量軟件

°  測量數(shù)據(jù)兼容功能強(qiáng)大的SPIP 分析軟件

°  掃描頭精心設(shè)計，避免因意外觸碰引致的損壞

°  實(shí)時力量監(jiān)控: 0.1 — 100 mg

°  同時可選臺階儀和光學(xué)輪廓儀的功能，節(jié)省空間

°  簡易、友好的操作界面

°  探針測量采用高精度的光學(xué)傳感器

°  長壽命白光LED 照明系統(tǒng)



可放置大樣品（圖中為200X200mm玻璃）




雙模式光學(xué)輪廓儀、臺階儀

超低價?。?！

USD28，000


技術(shù)規(guī)格

軟件可控探針壓力范圍

0.1 -100 mg

垂直方向解釋度

1?

臺階高度重復(fù)性

5?

*大高度測量范圍

500 um

*大樣本高度

50mm

Z軸馬達(dá)移動范圍

55mm

手動平臺旋轉(zhuǎn)范圍

360°

手動平臺傾斜范圍

± 4°

探針針尖半徑(可選)

2.5μm、5 μm、12.5 μm、25 μm,

0.2 — 0.8μm

短程掃描: (壓電陶瓷驅(qū)動)

XY軸解釋度   

0.1 um    

XY軸定位重復(fù)性

0.2 um    

掃描速度

10 - 50 um/秒

掃描范圍

10 - 500um

長程掃描

樣本尺寸  

150mm x 150mm

XY 平臺重復(fù)性

5 um  (2um 可選)

XY平臺掃瞄范圍

150mm x150mm(200mm可選)

*大掃描距離

150 mm

掃描速度

0.1 to5 mm/秒

參考片

參考片高度

100 micron

系統(tǒng)

相機(jī)視場

1.5 x1.5 mm

照明系統(tǒng)

暗場／明場式

操作系統(tǒng)

窗口XP

連接

USB2.0

電源

交流電110/ 240V， 350 W      

尺寸  

20”W x22”L x25”H   

重量

160 lb 







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