AEP NanoMap 1000WLI 光學(xué)輪廓儀 NanoMap 1000WLI

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產(chǎn)品型號：NanoMap 1000WLI

品牌：其它品牌

公司名稱：岱美有限公司

所在地：上海

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產(chǎn)品簡介

AEP NanoMap 1000WLI 光學(xué)輪廓儀: 美國AEP 公司專注于表面測量技術(shù)開發(fā)與應(yīng)用, 其生產(chǎn)的臺階儀和光學(xué)輪廓儀, 厚度、粗糙度、孔深 …等三維空間尺寸測量，并適用于多種產(chǎn)業(yè)，例如 : 芯片封裝、MEMS 、電路板、 LED、LCD。同時AEP亦開發(fā)出實時應(yīng)力分析及鍍膜后的應(yīng)力測量設(shè)備, 以滿足高新行業(yè)產(chǎn)品微日漸小化與高精度的要求.

產(chǎn)品詳細(xì)信息

產(chǎn)品簡介：

美國AEP 公司專注于表面測量技術(shù)開發(fā)與應(yīng)用, 其生產(chǎn)的臺階儀和光學(xué)輪廓儀, 厚度、粗糙度、孔深 …等三維空間尺寸測量，并適用于多種產(chǎn)業(yè)，例如 : 芯片封裝、MEMS 、電路板、 LED、LCD。同時AEP亦開發(fā)出實時應(yīng)力分析及鍍膜后的應(yīng)力測量設(shè)備, 以滿足高新行業(yè)產(chǎn)品微日漸小化與高精度的要求.

NanoMap 1000WLI 光學(xué)輪廓儀(形貌儀)特點:

非接觸式測量高度、深度、粗糙度等

° 高精度

° 快速測量

° 簡易的操作界面

° 兩種模式滿足不同應(yīng)用:

Phase Shift Mode (PSI): 平滑表面測量

White Light Scanning Mode (WLI): 粗糙表面測量

° 同時可選臺階儀和光學(xué)輪廓儀的功能，節(jié)省空間, 臺階儀更備有高精度壓電陶瓷掃瞄

° 測量數(shù)據(jù)兼容功能強(qiáng)大的SPIP 分析軟件

° 長壽命LED 光源(＞15年）

° 標(biāo)配150mm 樣品臺, 200mm或更大可選

° 另有全自動型號

150mm×150mm

NanoMap 8001 大尺寸生產(chǎn)用

規(guī)格
RMS 重復(fù)性	0.5 nm (WLI模式）
RMS 重復(fù)性	0.02 nm (PSI模式)
垂直分辨率	< 1 nm
視場	100 nm － 2 mm
像素	200 萬
垂直掃瞄范圍	*大10 mm