太陽能電池應(yīng)用： 
a-Si, mc-Si 鍍膜。 
各種TCO 鍍膜，例如ZnO, SiO2, TiO2。 
p-n摻雜 (Doping)。 
回火 (Annealing)。 
各種抗反射鍍膜，例如 : SiN, SiO2。

MEMS應(yīng)用： 
用于摻雜、擴(kuò)散、氧化、回火、鍍膜 …等制程之水平爐管，提供批次式4” 至 12” 晶圓、單層至四層系統(tǒng)。

奈米碳管、奈米線及奈米鍍膜應(yīng)用： 
-  CNTs、Si, SiGe, ZnO, …等等。

其它產(chǎn)品包括：

PECVD、LPCVD、UHVCVD。 
水平爐管 (Diffusion Furnace)。 
快速溫度處理系統(tǒng) (Rapid Temp. Processing)。 
MOCVD, LPE, VPE (適用于LED、GaN, III-V族 磊晶)。 
HCL Etching system (專門清潔MOCVD之susceptor)。 
廢氣處理系統(tǒng)。 
石英產(chǎn)品之生產(chǎn)、維修。

欲知詳情，請(qǐng)登錄:
http://www.firstnano.com/products/easytube6000/ 
http://www.firstnano.com/products/easytube6000/docs/ET6000.pdf