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等離子清洗機(jī) PDC200/210/510

產(chǎn)品價(jià)格： < 面議
產(chǎn)品型號：PDC200/210/510
品 牌：日本雅馬拓
公司名稱：濰坊普分儀器有限公司
所 在 地：山東濰坊
瀏覽次數(shù)： 次
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產(chǎn)品簡介

日本雅馬拓等離子清洗機(jī)YAMATO雅馬拓、等離子清洗機(jī)PDC510

產(chǎn)品詳細(xì)信息

日本雅馬拓等離子清洗機(jī)，山東總負(fù)責(zé)，肖先生

YAMATO雅馬拓、等離子清洗機(jī)PDC510
儀器簡介：

研究開發(fā)用*適合等離子清洗機(jī)
等離子清洗機(jī)、用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理

 等離子清洗機(jī)、技術(shù)參數(shù)：

型號
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式（DP選配）
DP模式
DP/RIE切換方式
電極構(gòu)造
平行平板電極（固定）
高頻輸出功率
MAX300W
Max 500W
頻率
13.56MHz
控制方式
自動聯(lián)動，液晶觸摸屏控制
反應(yīng)室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
電極尺寸
250×170mm
400×200mm
反應(yīng)室材質(zhì)
一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應(yīng)CF4）
反應(yīng)氣體
2系統(tǒng)（Ar/O2）
填充氣體
N2/潔凈干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制
流量計(jì)
聚合控制器
真空泵
另行選配
油回旋真空泵（排氣量345L/min）
油回旋真空泵（排氣量500L/min）
氣體導(dǎo)入口
反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
電源
單相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz

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