納米掃描臺Nano Scanning Stage 8NTS-01XY是平行平面的定位和掃描設(shè)備。它是一個單片金屬體（通常由高質(zhì)量的鋁合金制成），采用了EDM電線腐蝕和其他精密機械手段構(gòu)建通道，通道是供壓電陶瓷致動器、工作臺的移動元件使用的。8NTS-01XY的該種設(shè)計使得運動有著近**的直線度和平面度，與經(jīng)典的使用壓電陶瓷管的掃描儀相比，它是在球面掃描物體表面的。此外，與脆弱的壓電管相比，平行平面納米掃描臺具有高機械強度。
納米掃描臺8NTS-01XY的所有軸都配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈內(nèi)。它提供了高精度和線性運動，消除了壓電陶瓷漂移（緩變）的影響。其測量部分是基于TDC（時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝在離傳感器*近的位置，會立即測量出數(shù)字信號和測量電容的比例。將*大限度地減少了外部電磁噪聲的影響，并使用長電纜連接掃描臺到控制器。
 使用通用的控制器 8NSC-3061和軟件 NSpec控制8NTS-01XY納米掃描臺。
其實，平面臺8NTS-01XY +全功能的SPM控制器8NSC-3061+通用軟件NSpec組成進行完成掃描，數(shù)據(jù)采集和可視化系統(tǒng)，該系統(tǒng)會是所有掃描顯微鏡的“核心”部分，可以完全適應(yīng)任何“自制”系統(tǒng)。對于那些使用自制物理信號納米傳感器獲取信號在納米尺度的分布的客戶，購買該系統(tǒng)，將大大節(jié)省科學(xué)項目的時間和資源。
電子控制器8NSC-3061控制SPM或共聚焦顯微鏡的性能?？刂破鲿南到y(tǒng)傳感器和外部設(shè)備采集數(shù)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺的壓電致動器，所有采集的信息會傳輸?shù)絇C工作站，使可視化和進行處理?？刂菩盘栍蒔C機傳輸?shù)娇刂破鳎糜谡{(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。8NSC-3061控制器的一個重要部分是閉環(huán)反饋系統(tǒng)。其基于高質(zhì)量的20位TDC（時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）來測量電容位移傳感器。任何可用的系統(tǒng)信號都可以用在SPM反饋?？刂破髂軌蛲瑫r操作6個通道得到反饋，這樣既可以通過頂端又可以通過樣品掃描。
8NSC-3061 SPM控制器有2-通道鎖相放大器來提供共振SPM技術(shù)，例如非接觸掃描模式。鎖相放大器中包括基于數(shù)字頻率合成器的高穩(wěn)定電壓發(fā)生器。采用可編程邏輯（結(jié)合），實現(xiàn)了高速數(shù)據(jù)處理，可以在高達1.5MHz帶寬時進行高質(zhì)量鎖定。
 8NSC-3061配置了麥芽通道（12條）步進電機，控制微步進，粗略調(diào)整掃描頭。
納米掃描臺的控制器有外部模擬輸入和輸出，來連接外部設(shè)備和同步輸入和輸出。通過USB接口連接到PC工作站。設(shè)計通用軟件Nspec是專門設(shè)計用于 8NSC-3061 的，它可以運行一套現(xiàn)代SPM技術(shù)，具有廣泛處理數(shù)據(jù)的可能性。 軟件Nspec可以在不同的操作系統(tǒng)下運行。

產(chǎn)品規(guī)格
 XY范圍        100x100 μm
 *小掃描步進       0.1 nm
 整范圍內(nèi)的角度傾斜    < 0001°
 *大掃描速度    10 Hz（行/秒）
 *大樣品重量       100g
 諧振頻率XY          1 kHz
 非線性殘余            ≤0.03%
 傳感器類型              電容傳感器
內(nèi)置TDC（時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）位數(shù)      24位