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Felles 無掩膜光刻機(jī)

產(chǎn)品價(jià)格： < 面議
產(chǎn)品型號(hào)：
品 牌：Felles
公司名稱：孚光精儀(中國)有限公司
所 在 地：天津南開區(qū)
瀏覽次數(shù)： 次
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產(chǎn)品簡介

Felles 無掩膜光刻機(jī)具有無掩模技術(shù)的便利，大大提高影印和新產(chǎn)品研發(fā)的效率，節(jié)省時(shí)間，是全球**的無掩模光刻系統(tǒng)。Felles 無掩膜光刻機(jī)直接用375nm或405nm紫外激光把圖形寫到光膠襯底上。

產(chǎn)品詳細(xì)信息

Felles 無掩膜光刻機(jī)具有無掩模技術(shù)的便利，大大提高影印和新產(chǎn)品研發(fā)的效率，節(jié)省時(shí)間，是全球**的無掩模光刻系統(tǒng)。Felles 無掩膜光刻機(jī)直接用375nm或405nm紫外激光把圖形寫到光膠襯底上。

Web: www.felles.cn                    （激光光學(xué)精密儀器官網(wǎng)）
         www.felles.cc                     （綜合性**測試儀器官網(wǎng)）
         www.f-lab.cn                       （綜合性實(shí)驗(yàn)室儀器官網(wǎng)）


Felles 無掩膜光刻機(jī)特色
尺寸：925x925x1600mm
內(nèi)置計(jì)算機(jī)控制接口
激光光源：375nm或405nm
視頻輔助定位系統(tǒng)
自動(dòng)聚焦設(shè)置

Felles 無掩膜光刻機(jī)參數(shù)
線性寫取速度：>500mm/s
重復(fù)精度： 100nm
晶圓寫取面積：1—6英寸
襯底厚度：250微米-10毫米
激光點(diǎn)大小：1-100微米
準(zhǔn)直精度：500nm

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