飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)是專業(yè)為微納結(jié)構(gòu)的激光蝕刻而設(shè)計(jì)的激光直寫光刻機(jī)。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)（multi photon polymerization, mPP),適合市場(chǎng)上的各種光刻膠（photoresists ），能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是全球**的激光光刻機(jī).

飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)是專業(yè)為微納結(jié)構(gòu)的激光蝕刻而設(shè)計(jì)的激光直寫光刻機(jī)。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)（multi photon polymerization, mPP),適合市場(chǎng)上的各種光刻膠（photoresists ），能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是全球**的激光光刻機(jī).

飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)特點(diǎn)

• 激光光刻機(jī)3D模型制備
• 直寫光刻機(jī)直接激光刻劃  
• 激光光刻機(jī)整套系統(tǒng)到貨即可使用
• 激光光刻機(jī)提供100nm-10um的分辨率
• 直寫光刻機(jī)超小尺寸

 

飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)工作過程

激光光刻機(jī)3D模型的制備
軟件控制，簡(jiǎn)單的3D模型通過這種軟件即可生成，對(duì)于比較復(fù)雜的3D模型，用戶可以通過Autodesk, AutoCAD等軟件制作，然后導(dǎo)入到三維光刻機(jī)的軟件中，這個(gè)軟件支持.stl, dxf等格式的文件用于3D結(jié)構(gòu)的制造。

激光光刻機(jī)激光直接讀寫
由飛秒激光光源，精密的3軸定位臺(tái)和掃描鏡組成。首先，待刻錄的圖形通過激光光刻機(jī)精密的激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設(shè)計(jì)中導(dǎo)入到光刻膠上。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質(zhì)量表面的3D結(jié)構(gòu)。<100nm的尺寸可自形成結(jié)構(gòu)，200nm-10um尺寸的結(jié)構(gòu)可以控制并重復(fù)，提供納米尺度分辨率和對(duì)聚合物的廣泛選擇，從而可以適合微納光學(xué),微流體,MEMS,功能表面制作等各種應(yīng)用.
與CAD設(shè)計(jì)等同的3D結(jié)構(gòu)形成后，未固化的光刻膠剩余物由有機(jī)溶劑洗掉,這樣只留下蝕刻的微納結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)在基板上。

激光光刻機(jī)后續(xù)工序：
在所需的微納結(jié)構(gòu)形成后，它被浸入到幾種不同的溶劑中，以除去蝕刻過程中留下的液態(tài)聚合物。激光光刻機(jī)全部過程都是自動(dòng)化的，重要參數(shù)可以根據(jù)要求而設(shè)定：浸入時(shí)間,溫度等.對(duì)于特殊的樣品或加工對(duì)象，可以使用紫外光或干燥機(jī)處理。

飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)應(yīng)用